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12英寸勻膠顯影機 ACD12 COATER&DEVELOPER

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具體成交價以合同協(xié)議為準

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更新時間：2023-08-20 11:41:43瀏覽次數(shù)：721次

聯(lián)系我時，請告知來自 包裝印刷網(wǎng)
設備配置 2C2D、4C、4D
設備產(chǎn)能 110WPH
襯底材質(zhì) Si、Glass等
線寬 ≥90nm
適用工藝 i一line、KrF、ArF、PI、SOG、SOC
應用領域 IC、*封裝、MEMS、功率器件、半導體光學、科研等
技術特征 ?設備占地面積小，產(chǎn)能高，工藝單元靈活選配；
?熱板采用漸進式烘烤，冷盤漸進式冷卻；
?能適應5mm以下翹曲晶圓或超薄晶圓傳送和加工工藝；
?標配電動泵，標配勻膠顯影管路溫控功能；
?可實現(xiàn)兩種尺寸兼容；
?可選配高精度熱板、光學對中、WEE等單元部件；
?可選配interface模塊,實現(xiàn)Inline功能。
設備尺寸 2100*2850*2500mm（W*D*H）

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