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6英寸勻膠顯影機 MINI型 ACD6 COATER&DEVELOPER 返回列表頁

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更新時間：2023-08-20 11:36:29瀏覽次數(shù)：522次

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產(chǎn)品簡介

設(shè)備配置1C1D、2C、2D襯底材質(zhì)Si、Glass、Sapphire、GaAs、InP、GaN、SiC、LT、LN等線寬0

設(shè)備配置	1C1D、2C、2D
襯底材質(zhì)	Si、Glass、Sapphire、GaAs、InP、GaN、SiC、LT、LN等
線寬	≥0.35um
適用工藝	G-line、i-line、PI
應(yīng)用領(lǐng)域	MEMS、功率器件、射頻集成、光通訊、科研等
技術(shù)特征	?設(shè)備結(jié)構(gòu)緊湊、占地面積小（面寬僅1.1m) ； ?功能齊全，具備EBR、BSR、RRC、膠嘴自動保濕清洗等功能，可選配更換便捷的針管式膠嘴； ?可做兩種尺寸兼容，不需要更換零件； ?可選配光刻膠顯影液溫控, HMDS等單元部件。
設(shè)備尺寸	118014502040mm（WDH）