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8英寸勻膠顯影機(jī) ACD8 COATER&DEVELOPER

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更新時間：2023-08-20 11:40:10瀏覽次數(shù)：855次

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設(shè)備配置 2C2D、4C、4D
設(shè)備產(chǎn)能 120WPH
襯底材質(zhì) Si、Glass等
線寬 ≥90nm
適用工藝 i一line、KrF、ArF、PI、SOG、SOC
應(yīng)用領(lǐng)域 IC、*封裝、MEMS、功率器件、射頻集成、科研等
技術(shù)特征 ?設(shè)備占地面積小，產(chǎn)能高，工藝單元靈活選配；
?熱板采用漸進(jìn)式烘烤，冷盤漸進(jìn)式冷卻；
?能適應(yīng)5mm以下翹曲晶圓或超薄晶圓傳送和加工工藝；
?標(biāo)配電動泵，標(biāo)配勻膠顯影管路溫控功能；
?可實現(xiàn)兩種尺寸兼容；
?可選配高精度熱板、光學(xué)對中、WEE等單元部件；
?可選配interface模塊,實現(xiàn)Inline功能。
設(shè)備尺寸 1680*1550*2500mm（W*D*H）

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