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6英寸勻膠顯影機(jī) 標(biāo)準(zhǔn)型 ACD6 COATER&DEVELOPER

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更新時(shí)間：2023-08-20 11:38:14瀏覽次數(shù)：625次

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設(shè)備配置2C2D、4C、4D設(shè)備產(chǎn)能180WPH襯底材質(zhì)Si、Glass、Sapphire、GaAs、InP、GaN、SiC、LT、LN等線寬0
設(shè)備配置 2C2D、4C、4D
設(shè)備產(chǎn)能 180WPH
襯底材質(zhì) Si、Glass、Sapphire、GaAs、InP、GaN、SiC、LT、LN等
線寬 ≥0.35um
適用工藝 G-line、i-line、PI 
應(yīng)用領(lǐng)域 MEMS、功率器件、射頻集成、光通訊、LED、科研等
技術(shù)特征 ?設(shè)備采用高速機(jī)械手、產(chǎn)能高，穩(wěn)定性好；
?配置有RRC功能，光刻膠4寸用量可控制在0.6ml；
?設(shè)備故障、生產(chǎn)工藝參數(shù)等記錄等可長期保存?zhèn)洳椋?/span>
?光刻膠采用精密計(jì)量泵供應(yīng)，精度高，供液穩(wěn)定，出膠量設(shè)定方便；
?可做兩種尺寸兼容，不需要更換零件；
?可選配光刻膠顯影液溫控, HMDS等單元部件。
設(shè)備尺寸 1650*1450*2040mm（W*D*H）

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