產(chǎn)品參數(shù)說明：

1.轉(zhuǎn)速范圍：100-12000rpm；轉(zhuǎn)速分辨率：1rpm

2.加速度可調(diào)范圍：100-30000rpm/s

3.單步步長：3000S ;時間分辨率：0.1S

4.單步或多步運(yùn)行可選，可編程10組10步程序

5.寬電壓適用：AC100-230V輸入,中英文界面可選標(biāo)配10mm、25mm、55mm三種直徑規(guī)格真空載物盤

6.內(nèi)腔直徑：200mm，可處理碎片（小于1cm） 至6英寸圓晶底物。

6.外型尺寸：270mm(W)*387mm(D)*258mm(H)

產(chǎn)品特點(diǎn)：                             

1.工業(yè)級BLDC電機(jī)與單片機(jī)控制

2.4.3寸全彩觸摸屏人機(jī)界面操作

3.超高分子材料內(nèi)腔，不銹鋼外売 特殊設(shè)計(jì)的防進(jìn)膠、防堵膠功能

4.可升級一路精確計(jì)量自動點(diǎn)膠功能

5.帶真空開關(guān)和蓋子開關(guān)安全互鎖功能

6.推暮旋涂底物尺寸：6寸圓形底物