EZ4勻膠機(jī)被設(shè)計(jì)為結(jié)構(gòu)緊湊、簡單易用，可多步程控操作，尺寸小巧，易于放入手套箱內(nèi)操作。EZ4采用全陽極氧化鋁面板外殼，PP材料內(nèi)腔，經(jīng)久耐用。

   產(chǎn)品性能介紹：

◆   結(jié)構(gòu)緊湊

EZ4外型尺寸為：210(W)*250(D)*200(H)，特別適合放于手套箱內(nèi)操作。可旋涂4寸圓晶的底物。

◆   簡單易用

文本顯示屏，界面簡單易用，清晰的功能按鍵，方便靈活操作。

◆  程控操作

可提供單步或多步編程旋涂工藝運(yùn)行，最多可運(yùn)行5步不同轉(zhuǎn)速及加速度的旋涂程序。

◆   性能穩(wěn)定

工業(yè)級(jí)直流馬達(dá)，單片機(jī)控制，轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)穩(wěn)定，重復(fù)性好。

◆   設(shè)計(jì)新穎

全鋁合金外殼，陽極氧化鋁耐腐蝕機(jī)身。全PP注塑耐腐蝕易清潔旋轉(zhuǎn)腔，PC耐腐蝕透明蓋。

產(chǎn)品參數(shù)說明：

 ●PP耐腐蝕、易清潔注塑內(nèi)腔，HDPE耐腐蝕真空吸盤l

 ●陽極氧化鋁耐腐蝕機(jī)身，美觀耐用l

 ●耐溶劑性PC透明蓋子，恒定扭矩定位功能l

 ●文本顯示器，按鍵控制l

 ●75W直流無刷電機(jī)，單片機(jī)控制l

 ●可處理碎片（小于1cm）至4英寸圓晶底物l

 ●轉(zhuǎn)速可控范圍：100-9999RPM，轉(zhuǎn)速分辨率：1RPMl

 ●加速度可控范圍：100-9999RPM/Sl

 ●單步步長：3000s，時(shí)間分辨率：1s

 ●可進(jìn)行多步程序運(yùn)行，最多編輯運(yùn)行5步程序l

●寬輸入電壓適用：AC100-230V輸入

產(chǎn)品外形尺寸：外形尺寸：210 (W) * 265(D) *213(H)