
產品特點:
●高級伺服電機驅動,高精度、高重復性
●PLC控制,7寸全彩觸摸屏操作
●HDPE內腔,SUS外殼,耐溶劑PC透明蓋
●可添加背洗和去邊膠功能,滿足工業(yè)用途
●可嵌入式安裝在手套箱內,降低操作高度使用
●可處理基片尺寸小于1cm碎片至8“圓形底物
產品參數(shù):
●轉速范圍:0-10000RPM
●加速度:0-50000RPM/S
●轉速精度:±1RPM(AC200-SE)
±0.1RPM(AC200-PE)
●單步時間設置:0-3000S
●時間分辨率:0.1S
●可編程:100組100步
●帶4只自動點膠端口,可升級多路自動點膠功能
●標配三種規(guī)格載物盤:直徑10mm,25mm,55mm
●VPC200無油真空泵可選
●外型尺寸:306(W)*433(D)*306(H)





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