IC5000可控溫勻膠機(jī)

可控溫勻膠機(jī)----邊旋涂，邊加熱，轉(zhuǎn)盤可控溫，發(fā)明的加熱控溫型勻膠機(jī)

產(chǎn)品特點(diǎn)：

●載物盤加熱型勻膠機(jī)，可實(shí)現(xiàn)邊加熱邊勻膠處理

●HDPE高分子內(nèi)腔，PC透明蓋，鈑金烤漆外殼

●可靠的隔熱設(shè)計(jì)，確保電機(jī)及元器件安全

●24V加熱部件，確保過(guò)程中安全可靠

●可嵌入式安裝設(shè)計(jì)，降低高度放置在手套箱內(nèi)

產(chǎn)品參數(shù)：

●轉(zhuǎn)盤加熱控溫范圍：室溫-150℃

●溫度分辨率：0.1℃

●控溫精度：<±0.5℃（穩(wěn)定后控溫精度）

●轉(zhuǎn)盤溫度均勻性：≤±2%

●轉(zhuǎn)速范圍：100－5000RPM

●加速度范圍：100－5000RPM/S

●轉(zhuǎn)速分辨率：1RPM

●單步旋涂時(shí)間：3000S

●時(shí)間分辨率：1S

●可編程：100組100步

●可升級(jí)一路自動(dòng)點(diǎn)膠功能

●標(biāo)配可調(diào)卡爪載物盤(10-30方片或圓片可調(diào))，其它需定制

●為避免基片全接觸加熱盤與抽真空干涉，標(biāo)配不帶抽真空

●外型尺寸：280mm(W)*404mm(D)*270mm(H)