激光掃描測(cè)量計(jì)?可測(cè)量直徑小至 ?5µm。?超高測(cè)量精度，在全測(cè)量范圍 (5µm-2mm)，內(nèi)直線度達(dá) ±0.3µm。?超高重復(fù)精度達(dá) ±0.03µm。

激光掃描測(cè)量計(jì)
實(shí)現(xiàn)非接觸，高速和高精度測(cè)量
LSM-500S, LSM-501S, LSM-503S
544 系列 — 高精度非接觸測(cè)量系統(tǒng)
特點(diǎn) : LSM-500S
•可測(cè)量直徑小至 ø5µm。
•超高測(cè)量精度，在全測(cè)量范圍 (5µm-2mm)，
內(nèi)直線度達(dá) ±0.3µm。
•超高重復(fù)精度達(dá) ±0.03µm。
特點(diǎn) : LSM-501S
• 超高測(cè)量精度，在全測(cè)量范圍(0.05mm-10mm)
內(nèi)達(dá) ±0.5µm，窄測(cè)量 范圍內(nèi)達(dá) ±(0.3+0.1?D)µm。
• 超高重復(fù)精度達(dá) ±0.05µm。
特點(diǎn) : LSM-503S
•多用途型， 測(cè)量范圍從 0.3mm - 30mm。
•高測(cè)量精度， 在全測(cè)量范圍內(nèi)達(dá) ±1.0µm，
在窄測(cè)量范圍內(nèi)達(dá) ±(0.6+0.1?D)µm高測(cè)
量精度。
•高重復(fù)精度達(dá) ±0.1µm。