測(cè)量顯微鏡MF 測(cè)量顯微鏡具有可擴(kuò)展性，如與三豐公司 Vision Unit 一起使用可提高其性能，或者可在 PC 中進(jìn)行數(shù)據(jù)管理，從而確保提高效率。

測(cè)量顯微鏡
觀察、測(cè)量和處理系統(tǒng)化的顯微鏡陣容
MF
176 系列 — 測(cè)量顯微鏡
MF 測(cè)量顯微鏡具有可擴(kuò)展性，如與三豐
公司 Vision Unit 一起使用可提高其性能，
或者可在 PC 中進(jìn)行數(shù)據(jù)管理，從而確保提
高效率。
特點(diǎn)
•可觀察清晰無閃爍正像，且視場(chǎng)開闊。
•測(cè)量精度在同類設(shè)備中高
(符合 JIS B 7153 標(biāo)準(zhǔn))。
•使用 ML 系列，專門為 MF 系列設(shè)計(jì)的高
-NA 物鏡 (長(zhǎng)工作距離型)。
•照明裝置 (反射／透射) 可選用高亮度 LED
燈泡或鹵素?zé)襞?(必選)。
•利用可變孔徑光闌 (反射／透射) 可進(jìn)行無
衍射觀察測(cè)量。
•各類標(biāo)準(zhǔn)工作臺(tái)的尺寸大達(dá)到 400 ×
200mm。
•快速釋放裝置便于在測(cè)量工件大或測(cè)量
工件數(shù)量多時(shí)快速移動(dòng)工作臺(tái)。
•粗調(diào)／細(xì)調(diào)進(jìn)給手柄作為標(biāo)準(zhǔn)配置安裝在
兩側(cè)，便于準(zhǔn)確聚焦與觀察測(cè)量，不受
用左手或右手習(xí)慣的影響。
•高倍目鏡觀察，高達(dá) 2000X。
•標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量顯微鏡，配有種類繁多的可選附
件，包括 Vision Unit 影像裝置與各種 CCD
數(shù)碼相機(jī)。
性能參數(shù)
型號(hào) (XY 工作臺(tái)尺寸) 1010C 2010C 2017C 3017C 4020C
貨號(hào) * MF-A 176-662* 176-663* 176-664* 176-665* 176-666*
MF-B 176-682* 176-683* 176-684* 176-685* 176-686*
XY 工作臺(tái)行程范圍 100 x 100mm 200 x 100mm 200 x 170mm 300 x 170mm 400 x 200mm
Z 軸移動(dòng)范圍 150mm 150mm 220mm 220mm 220mm
調(diào)焦方式 手動(dòng)調(diào)焦 (粗調(diào)焦 : 30mm/rev., 微調(diào)焦 : 0.2mm/rev.)
測(cè)量方法 線性編碼器 (2 軸型 : X / Y 軸 , 3 軸型 : X / Y / Z 軸)
分辨率 (可轉(zhuǎn)換) 0.001mm / 0.0005mm / 0.0001mm
測(cè)量精度 (20ºC 時(shí)) XY 軸 : (2.2+0.02L)µm, L 為無負(fù)載測(cè)量長(zhǎng)度 (mm), JIS B 7153
指示精度 (20ºC 時(shí)) Z 軸 : (5+0.04L)µm, L 為測(cè)量長(zhǎng)度 (mm)
浮動(dòng)功能 帶有快速釋放功能的 X 和 Y 軸
XY 工作臺(tái)臺(tái)面尺寸 280 x 280mm 350 x 280mm 410 x 342mm 510 x 342mm 610 x 342mm
載物玻璃有效尺寸 180 x 180mm 250 x 150mm 270 x 240mm 370 x 240mm 440 x 240mm
旋轉(zhuǎn)功能 — — ±5? (左) ±5? (左) ±3? (左)
臺(tái)面大承重 10kg 10kg 20kg 20kg 15kg
大工件高度 150mm 150mm 220mm 220mm 220mm
*在貨號(hào)后加上以下后綴 (如 : 176-662-10): -10 適于英國(guó)手動(dòng)用戶 11 適于中國(guó)手動(dòng)用戶 , 無后綴適于日本手動(dòng)用戶