測量顯微鏡?此光學(xué)系統(tǒng)初是為的 FS60 型 (后升級為 FS70 型) 而開發(fā)的。它是作為測量檢測半導(dǎo)體器件的顯微鏡的理想選擇。

測量顯微鏡
觀察、測量和處理系統(tǒng)化的顯微鏡陣容
FS-70
378 系列 — 半導(dǎo)體檢測用顯微鏡
特點
•此光學(xué)系統(tǒng)初是為的 FS60 型 (后升
級為 FS70 型) 而開發(fā)的。它是作為測量檢
測半導(dǎo)體器件的顯微鏡的理想選擇。
•FS70L 支持 3 種 YAG 激光波長 (1064nm,
532nm, 355nm)，F(xiàn)S70L4 支 持 2 種 波 長
(532nm, 266nm)，可在半導(dǎo)體和液晶基板
中使用薄膜激光切割技術(shù)。這就擴大了
激光的使用范圍。然而，對用于顯微鏡
的激光系統(tǒng)的性能和安全性，三豐公司
不負責(zé)任。我們推薦在選購激光發(fā)射器
時應(yīng)仔細檢查。
•FS70Z 的標準功能有 ：亮視場，微分干涉
對比 (DIC) 和偏振觀測。FS70L 和 FS70L4
不支持 DIC。
•使用內(nèi)置式轉(zhuǎn)換器使得長工作距離物鏡
的操作很簡單。
•極易操作的設(shè)計 ：FS70 采用正像光學(xué)系
統(tǒng) (視場中的像與樣品方向相同) 并用橡膠
把手加大微調(diào)手輪。
性能參數(shù)
型號 FS70 FS70-TH FS70Z FS70Z-TH FS70L FS70L-TH FS70L4 FS70L4-TH
貨號 378-184-1 378-184-3 378-185-1 378-185-3 378-186-1 378-186-3 378-187-1 378-187-3
短基座型號 FS70-S FS70-THS FS70Z-S FS70Z-THS FS70L-S FS70L-THS FS70L4-S FS70L4-THS
貨號 378-184-2 378-184-4 378-185-2 378-185-4 378-186-2 378-186-4 378-187-2 378-187-4
對焦 50mm 行程，同心焦距粗調(diào) (3.8mm/rev) 和微調(diào) (0.1mm/rev) 輪 (左、右)
圖像 正像
瞳距 Siedentopf 型 , 調(diào)節(jié)范圍 : 51 - 76mm
視場數(shù) 24
俯角 — 0º - 20º — 0º - 20º — 0º - 20º — 0º - 20º
透過率 50/50 100/0 or
0/100
50/50 100/0 or
0/100
100/0 or 0/100 100/0 or 0/100
保護性濾光片 — — 內(nèi)置激光射線濾光片 內(nèi)置激光射線濾光片
光學(xué)管徑 1X 1X - 2X 焦距型 1X 1X
適用激光 — — 1064/532/355nm 532/266nm
相機端口 C-mount (使用適配器 B 選件) 使用帶有電視端口的
激光器
C-mount 端口
(帶有綠色濾光片轉(zhuǎn)換開關(guān))
照明系統(tǒng) ,
選件
亮視場反射照明 (科勒照明、帶孔徑光闌)
12V 100W 光纖、無極亮度調(diào)節(jié)、光纖長度 ：1.5m, 功耗 150W
物鏡 , 選件
(用于觀察)
M Plan Apo, M Plan Apo SL, G Plan Apo
物鏡 , 選件
(用于激光切割)
— M/LCD Plan NIR,
M/LCD Plan NUV
M Plan UV
載重 * 14.5kg 13.6kg 14.1kg 13.2kg 14.2kg 13.5kg 13.9kg 13.1kg
重量 (主機) 6.1kg 7.1kg 6.6kg 7.5kg 6.4kg 7.2kg 6.7kg 7.5kg
* 鏡體的載重不包括物鏡鏡頭和目鏡的重量
VMU
378 系列 — 視像顯微鏡系統(tǒng)
VMU 是一種袖珍、輕型和易于安裝的顯微
鏡裝置，通常在半導(dǎo)體制造中用于 CCD 相
機監(jiān)視。
特點
•其光學(xué)系統(tǒng)的特點是具有超長工作距離物
鏡，具有對大范圍輻射波長的校正功能。
•光纖反射照明可使工件免于受熱膨脹影
響。需要光纖照明器作為光源。
•可供使用的還有激光支架或轉(zhuǎn)塔 (物鏡安
裝)。
性能參數(shù)
鏡體倍率 1X
適用
波長
378-505,
378-506
近紅外線和可見光范圍
378-513 近紅外線 —可見光— 近紫外
線范圍
378-514 可見光和紫外線范圍
物鏡 (選件)
反射照明 • 帶有孔徑光闌系統(tǒng)的遠心
系統(tǒng)
• 需要光纖照明 (選件)
光源 鹵素?zé)襞?(21V, 150W) (選件)
重量 378-505: 570g
378-506: 590g
378-513: 1270g
378-514: 1300g