當(dāng)前位置：大塚電子（蘇州）有限公司>>測(cè)量?jī)x器>>MCPD series 嵌入式膜厚測(cè)試型

MCPD series 嵌入式膜厚測(cè)試型

返回列表頁

參考價(jià)

面議

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)

品牌

廠商性質(zhì)其他

所在地蘇州市

在線詢價(jià) 收藏產(chǎn)品查看聯(lián)系電話

包裝印刷網(wǎng)采購部電話：0571-88918531QQ:2568841715

聯(lián)系方式：查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2026-06-10 10:23:01瀏覽次數(shù)：45次

聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來自包裝印刷網(wǎng)

產(chǎn)品分類 品牌分類

  測(cè)量?jī)x器

全部產(chǎn)品列表

暫無信息

大塚電子（蘇州）有限公司

經(jīng)營(yíng)模式：其他

商鋪產(chǎn)品：15條

所在地區(qū)：江蘇蘇州市

詢價(jià) 給他留言

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

本公司的MCPD series，由于采用柔軟纖維的事，從In-Situ到內(nèi)聯(lián)各種各樣的地方和用途的編入成為可能。測(cè)量原理為分光干涉方式，在實(shí)現(xiàn)高測(cè)量再現(xiàn)性的同時(shí)，還支持多層厚度測(cè)量。通過采用獨(dú)自算法，可以高速實(shí)時(shí)監(jiān)控。...

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品信息

特　點(diǎn)

● 膜厚測(cè)量范圍65nm～92μm（換算為SiO2）

● 最短曝光時(shí)間1ms~※根據(jù)規(guī)格

● 由于是柔性纖維光學(xué)系統(tǒng)，容易組裝到半導(dǎo)體工藝裝置中

● 可從上層遠(yuǎn)程控制

● 于研磨中膜厚終點(diǎn)檢測(cè)

基本配置

裝置組裝示意圖

測(cè)量案例

適應(yīng)過程示例

CMP工藝

蝕刻工藝

成膜工藝

等等

產(chǎn)品規(guī)格

MCPD-9800仕様

型號(hào)	MCPD-9800
型號(hào)	2285C	3095C	3683C	311C	916C
測(cè)量波長(zhǎng)范圍（nm）	220～850	300～950	360～830	360～1100	900～1600
膜厚范圍※	65nm～35μm	65nm～50μm	65nm～45μm	65nm～49μm	180nm～92μm
膜厚/反射/透過/相位差	〇
色測(cè)量	〇				x
掃描時(shí)間	5ms～20s				1ms～10s
光斑直徑	φ1.2mm
光纖長(zhǎng)度	1m～長(zhǎng)度需相商

※膜厚值n=1.5的換算。由式樣而定

MCPD-6800仕様

型號(hào)	MCPD-6800
型號(hào)	2285C	3095C	3683C	3610C
測(cè)量波長(zhǎng)范圍（nm）	220～850	300～950	360～830	360～1000
膜厚范圍※	65nm～35μm	65nm～50μm	65nm～45μm	65nm～49μm
膜厚/反射/透過/相位差/色測(cè)量	〇
掃描時(shí)間	16ms～65s
光斑直徑	φ1.2mm
光纖長(zhǎng)度	１ｍ～　長(zhǎng)度需相商