產(chǎn)品簡(jiǎn)介：

EZ4勻膠機(jī)適用于給小碎片至4英寸晶圓大小的基底旋涂光刻膠及其他試劑，使用工業(yè)級(jí)直流馬達(dá)和單片機(jī)控制，文本顯示器人機(jī)界面。EZ4勻膠機(jī)設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)緊湊、簡(jiǎn)單易用，可多步程控操作，尺寸小巧，易于放入手套箱內(nèi)操作。EZ4采用全陽(yáng)極氧化鋁面板外殼，PP材料內(nèi)腔，經(jīng)久耐用。

產(chǎn)品性能參數(shù)：

1. 支持wafer尺寸：1cm-150mm（6"圓晶）

2. 速度可調(diào)范圍：100-10000rpm

3. 加速度可調(diào)范圍：100-10000rpm/s

4. 轉(zhuǎn)速分辨率：1rpm

5. 轉(zhuǎn)速精度：＜±5rpm

6. 可編程5組5步程序

7. 寬電壓輸入：AC100-230V

8. 產(chǎn)品外型尺寸：250mm(D)*210mm(W)*204mm(H)

產(chǎn)品特性優(yōu)點(diǎn)：

1. 75W 直流無(wú)刷電機(jī)，單片機(jī)控制

2. 高清晰文本顯示器

3. 可單步和多步勻膠操作

4. PP耐腐蝕內(nèi)腔，可更換

5. 鋁合金陽(yáng)極氧化外殼，美觀大方

6. 耐溶劑PC透明蓋

7. 多角度定位鉸鏈設(shè)計(jì)

8. HDPE真空吸盤