產(chǎn)品簡(jiǎn)介:
BP-2B烘膠臺(tái)用于半導(dǎo)體工藝制備過(guò)程中,主要用于光刻工藝中光刻膠的前烘、后烘以及堅(jiān)膜,具有烘膠速度快、均勻、控溫精度高等特點(diǎn)??砷L(zhǎng)時(shí)間連續(xù)穩(wěn)定工作,可廣泛應(yīng)用于產(chǎn)線(xiàn)生產(chǎn)。
技術(shù)參數(shù):
1、烘膠板材料:不銹鋼
2、烘膠板規(guī)格:Φ200mm
3、烘烤溫度:≤200℃
4、控溫精度:±2℃
5、控溫形式:采用溫控儀PID調(diào)節(jié)(功率調(diào)節(jié)),自動(dòng)測(cè)溫、控溫
6、外形尺寸:280*360*220mm
7、輸入電源:AC 220V/240V,50Hz
8、整機(jī)功率:600W
9、整體重量:10Kg





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