1. 產(chǎn)品簡(jiǎn)介：

1）全新型載物盤控溫加熱、勻膠同時(shí)工作。

2）HDPE高分子內(nèi)腔，PC透明蓋，鈑金外殼。

3）可靠的隔熱設(shè)計(jì)，確保設(shè)備電極及元件安全。

4）安全電壓發(fā)熱部件，確保操作安全可靠。

5）可升級(jí)添加一路精確計(jì)量自動(dòng)點(diǎn)膠功能。

6）該款控溫型勻膠機(jī)（帶加熱功能的勻膠機(jī)）尺寸滿足手套箱過渡艙進(jìn)出。

2. 產(chǎn)品參數(shù)：

1）轉(zhuǎn)盤加熱控溫范圍：室溫-150℃

2）溫度分辨率：0.1℃

3）控溫精度：<±0.5℃（穩(wěn)定后控溫精度）

4）轉(zhuǎn)盤溫度均勻性：<±2%

5）轉(zhuǎn)速范圍：100-5000rpm

6）轉(zhuǎn)速分辨率：±1rpm

7）加速度可調(diào)范圍：100-5000rpm/s

8）單步旋涂時(shí)長(zhǎng)：3000s

9）時(shí)間分辨率：0.1s

10）最多可編程100組100步程序，更多可擴(kuò)展

11標(biāo)配可調(diào)卡爪載物盤（10-30mm方片或圓片可調(diào)），其他規(guī)格可定制

外形尺寸：280mm（W）*404mm（D）*270mm（H）

3.推薦應(yīng)用：

1）常規(guī)晶圓光刻膠旋涂

2）鈣鈦礦薄膜制備研究