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JBX-9500FS　電子束光刻系統(tǒng)

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更新時間：2024-11-24 08:50:40瀏覽次數(shù)：80次

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廣州文明機電有限公司

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產(chǎn)品簡介

JBX-9500FS是一款100kV圓形束電子束光刻系統(tǒng)，兼具高水平的產(chǎn)出量和定位精度，能容納300mmφ的晶圓片和6英寸的掩模版，適合納米壓印、光子器件、通信設備等多個領域的研發(fā)及生產(chǎn)。

詳細介紹

此外，由于具有100MHz的掃描速度，場尺寸在1000µm×1000µm時的套刻精度達到±11nm、場拼接精度為±10nm、寫場內(nèi)位置精度達±9nm，是兼具高水準產(chǎn)出率和位置精度的100kV圓形束光刻系統(tǒng)。

由于采用的位置偏轉(zhuǎn)DAC為20位，掃描DAC為14位，能獲得0.25nm的掃描步距，分辨率更高，描畫數(shù)據(jù)增長1nm，可以更忠實地再現(xiàn)描畫數(shù)據(jù)。

達到100ＭＨｚ的高速化掃描速度，保證了大電流描畫時的掃描步距很短，因而能提高對精度要求的圖形描畫的產(chǎn)出量。

由激光束控制（LBC）的0.15nm（λ/4096）的最小定位單位及高分辨率，達到了高水準的位置精度。

本公司獨自的自動校正功能(自動補償功能)，實現(xiàn)了可信賴的長時間穩(wěn)定地描畫。自動補償可以根據(jù)時間（任意的）、場和圖形進行分別設定，非常適合于周末及休假等無人值守等情況下的長時間描畫。

該系統(tǒng)能容納300mmφ的晶圓片和6英寸的光掩模版，適合于納米壓印、光子器件、通信設備等各種領域的研發(fā)及生產(chǎn)。采用材料卡匣傳送系統(tǒng)（選配），最多可裝載10個卡匣。

利用微間距控制程序（場尺寸微調(diào)程序）可以制作DFB激光器等的啁啾光柵。

電子槍	ZrO/W 肖特基型
描畫方式	圓形束, 矢量掃描, 步進重復式
加速電壓	100kV
樣品尺寸	樣品尺寸 (可以安裝): 300mmΦ的晶圓片, 6英寸的掩模版, 任意尺寸的的微小樣品。
場尺寸	1000µm×1000µm
樣品臺移動范圍	260mmX240mm
樣品臺控制單元	0.15nm（λ/4096）
套刻精度	≦±11nm
場拼接精度	≦±10nm （場尺寸為1000µm×1000µm）
寫場內(nèi)位置精度	≦±9nm（場尺寸為1000µm×1000µm）
定位DAC	20位
掃描速度	100MHz