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JSM-7610FPlus 熱場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

的JSM-7610F的光學(xué)系統(tǒng)經(jīng)過(guò)改進(jìn),實(shí)現(xiàn)了分辨率15kV 0.8nm、1kV 1.0nm的進(jìn)一步提升,以嶄新的JSM-7610FPlus形象亮相。采用半浸沒(méi)式物鏡和High Power Optics照明系統(tǒng),提供穩(wěn)定的高空間分辨率觀察和分析。此外還具備利用GENTLEBEAMTM模式

詳細(xì)介紹

二次電子像分辨率

0.8 nm(加速電壓 15 kV),1.0 nm(加速電壓 1 kV )
分析時(shí) 3.0 nm (加速電壓 15 kV, WD 8 mm, 探針電流 5 nA )

倍率

Direct magnification:  x25 to 1,000,000(120 x 90 mm)
Display magnification:  x75 to 3,000,000(1,280 x 960 pixels)

加速電壓

0.1 ~ 30 kV

探針電流

數(shù) pA ~ 200 nA

電子槍

浸沒(méi)式肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍

透鏡系統(tǒng)

聚光鏡(CL)、  光闌角控制鏡(ACL)、  半浸沒(méi)式物鏡(OL)

樣品臺(tái)

全對(duì)中測(cè)角樣品臺(tái)、5軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)

電子檢測(cè)器系列

高位檢測(cè)器、 r‐過(guò)濾器 內(nèi)置、  低位檢測(cè)器

自動(dòng)功能

自動(dòng)聚焦、自動(dòng)消象散、自動(dòng)亮度/襯度調(diào)節(jié)

圖像觀察用
液晶顯示器

屏幕尺寸 23英寸寬屏
 分辨率 1,920 × 1,080像素

抽真空系統(tǒng)

電子槍室/中間室 SIP 離子泵
樣品室 TMP 分子泵

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