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快速升溫CVD系統(tǒng)RTP-1000-F3LV

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北京鴻瑞正達(dá)科技有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

產(chǎn)品簡(jiǎn)介：快速升溫CVD系統(tǒng)RTP-1000-F3LV是專為半導(dǎo)體基片、太陽能電池及其它樣品（尺寸可達(dá)3″）的退火而設(shè)計(jì)，配有3路流量計(jì)和機(jī)械泵

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品簡(jiǎn)介：快速升溫 CVD 系統(tǒng) RTP-1000-F3LV 是專為半導(dǎo)體基片、太陽能電池及其它樣品（尺寸可達(dá)

3″ ）的退火而設(shè)計(jì)，配有 3 路流量計(jì)和機(jī)械泵。本機(jī)采用 9KW 的紅外燈進(jìn)行加熱，升溫速度可達(dá)

100℃/s ，配有 RS485 接口，可以通過控制軟件在計(jì)算機(jī)上控制運(yùn)行并顯示溫度曲線。

產(chǎn)品型號(hào)	快速升溫 CVD 系統(tǒng) RTP-1000-F3LV
安裝條件	本設(shè)備要求在海拔 1000m 以下，溫度 25℃±15℃ ，濕度 55%Rh±10%Rh 下使用。
	1、水：不需要
	2、電： AC220V 50Hz，必須有良好接地
	3、氣：設(shè)備腔室內(nèi)需充注氣體，需自備氣瓶氣源
	4、工作臺(tái)：尺寸 600mm×600mm×700mm ，承重 50kg 以上 5、通風(fēng)裝置：需要
主要特點(diǎn)	1 、雙層 Al2O3 纖維鋼構(gòu)，無需水冷或風(fēng)冷。
	2、內(nèi)爐膛表面涂有進(jìn)口高溫氧化鋁涂層，可以提高設(shè)備的加熱效率及延長(zhǎng)儀器的使用壽命。
	3 、PID 控制器，可以設(shè)置 30 段升降溫程序，并設(shè)有過熱保護(hù)和斷偶功能。
	4 、已通過 CE 認(rèn)證。
技術(shù)參數(shù)	1 、電源：單相 208V-240V AC 50Hz/60Hz 9KW
	2、石英管：外徑 ?110mm ，內(nèi)徑 ?103mm ，長(zhǎng) 380mm
	3、加熱元件：紅外燈管，直徑 ?10mm ，長(zhǎng) 300mm
	4、加熱區(qū)： 300mm

	5 、工作溫度：溫度 1100℃
	6 、控溫精度：±0.5℃
	7、升溫速度： RT-800℃時(shí)為 50℃/s ，800℃-1000℃時(shí)為 10℃/s
	8、溫控儀：可控硅（ SCR）PID 自動(dòng)控制
	9 、真空法蘭：不銹鋼，帶有水冷接口和針閥，雙層高溫 O 型圈密封，長(zhǎng)時(shí)間在>900℃條件下運(yùn)行必須采用水冷，循環(huán)水流量為 0.5m3/hr
	10、真空度： 10-3torr
	11、流量計(jì)： 3 個(gè)，量程 40cc/min-400cc/min ，精度 4%FS
產(chǎn)品規(guī)格	尺寸：爐體 760mm×330mm×530mm ，真空混氣系統(tǒng) 600mm×600mm×597mm
	重量：爐體 45kg ，真空混氣系統(tǒng) 30kg
可選配件	防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì)