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蘇州中芯啟恒科學(xué)儀器有限公司
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蘇州中芯啟恒科學(xué)儀器有限公司
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更新時間：2023-07-03 13:28:30瀏覽次數(shù)：879次
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EZ6是一款設(shè)計結(jié)構(gòu)緊湊、簡單易用，觸摸屏操作，性能優(yōu)異的靈巧型勻膠機(jī)。EZ6外型尺寸較小，適合直接放于手套箱內(nèi)操作?？尚?寸圓形基底。提供多步編程旋涂工藝運(yùn)行，最多可存貯10組10步程序，還可升級自動點(diǎn)膠功能...
一．產(chǎn)品性能介紹：
EZ6是一款設(shè)計結(jié)構(gòu)緊湊、簡單易用，觸摸屏操作，性能優(yōu)異的靈巧型勻膠機(jī)。
1）結(jié)構(gòu)緊湊
EZ6外型尺寸較小，適合直接放于手套箱內(nèi)操作。可旋涂6寸圓形基底。
2）簡單易用
彩色觸屏控制，界面簡單易用，且自帶幫助功能，提供使用向?qū)В瑢Τ醮问褂谜叻浅７奖恪?/span>
3）程控操作
提供多步編程旋涂工藝運(yùn)行，最多可存貯10組10步程序，還可升級自動點(diǎn)膠功能。
4）性能穩(wěn)定
工業(yè)級直流馬達(dá)，轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)穩(wěn)定，重復(fù)性好；真空系統(tǒng)設(shè)計，可靠性高。
二．產(chǎn)品參數(shù)說明：
1）HDPE高分子耐腐蝕、易清潔內(nèi)腔，帶排廢功能
2）SUS耐腐蝕不銹鋼機(jī)身，耐溶劑性PC透明蓋子，經(jīng)久耐用
3）4.3寸全彩觸屏人機(jī)界面，提供觸屏筆操作
4）100W直流無刷電機(jī)，單片機(jī)控制
5）內(nèi)腔直徑200mm，可處理碎片（小于1cm）至6英寸圓晶底物
6）.轉(zhuǎn)速可控范圍：100-12000rpm，轉(zhuǎn)速分辨率：1rpm
7）加速度可控范圍：100-30000rpm/s
8）可進(jìn)行多步程序運(yùn)行，最多可存貯10組10步程序
9）帶一只自動點(diǎn)膠端口，可升級自動點(diǎn)膠功能
10）寬輸入電壓適用：AC100-230V輸入
11）帶真空和蓋子開關(guān)互鎖功能，確保操作安全
12）可選擇設(shè)置開機(jī)密碼功能，提高設(shè)備操作安全性
三．產(chǎn)品附件選擇：
1）標(biāo)配三種真空載物盤（直徑10mm,25mm,55mm），適于碎片至6寸圓形底
物的處理
2）可根據(jù)基片尺寸和要求可提供嵌入式或檔桿式定制載物盤的設(shè)計加工
3）用于柔性薄膜基片可提供定制微孔陶瓷真空吸附載物盤
4）無油真空泵（抽氣量15L/min以上）或真空發(fā)生器可選
5）4-6寸手持式對中裝置可選
6）蓋子上點(diǎn)膠針筒支架手動點(diǎn)膠可選配
7）瓶口分液器手動計量點(diǎn)膠可選配
8）蠕動泵/點(diǎn)膠機(jī)等自動點(diǎn)膠裝置可選配
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