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蘇州中芯啟恒科學(xué)儀器有限公司
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蘇州中芯啟恒科學(xué)儀器有限公司
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更新時間：2023-07-03 10:33:40瀏覽次數(shù)：254次
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EZ4-S-PP勻膠機(jī)適用于給小碎片至4英寸晶圓大小的基底旋涂光刻膠及其他試劑，使用工業(yè)級直流馬達(dá)和單片機(jī)控制，文本顯示器人機(jī)界面。EZ4-S-PP勻膠機(jī)設(shè)計結(jié)構(gòu)緊湊、簡單易用，可多步程控操作，尺寸小巧，易于放入手套箱內(nèi)操作。EZ4-S-PP采用耐腐蝕PP外殼，PP材料內(nèi)腔，經(jīng)久耐用。...
產(chǎn)品名稱：小巧型勻膠機(jī)
產(chǎn)品型號：EZ4-S-PP
1. EZ4-S-PP小巧型勻膠機(jī)簡介：
EZ4-S-PP勻膠機(jī)適用于給小碎片至4英寸晶圓大小的基底旋涂光刻膠及其他試劑，使用工業(yè)級直流馬達(dá)和單片機(jī)控制，文本顯示器人機(jī)界面。EZ4-S-PP勻膠機(jī)設(shè)計結(jié)構(gòu)緊湊、簡單易用，可多步程控操作，尺寸小巧，易于放入手套箱內(nèi)操作。EZ4-S-PP采用耐腐蝕PP外殼，PP材料內(nèi)腔，經(jīng)久耐用。
2. EZ4-S-PP小巧型勻膠機(jī)性能參數(shù)：
(1) 轉(zhuǎn)速范圍：100-9999rpm
(2) 轉(zhuǎn)速分辨率：1rpm
(3) 加速度可調(diào)范圍：100-9999rpm/s
(4) 單步步長：3000s
(5) 時間分辨率：1s
(6) 寬電壓適用：AC100~230V輸入，中英文可選
(7) 單步或多步運(yùn)行可選，最多可設(shè)置5組5步程序
(8) 標(biāo)配10mm、25mm、55mm三種規(guī)格真空載物盤
(9) 外形尺寸：210mm（W）*265mm（D）*213mm（H）
3. EZ4-S-PP小巧型勻膠機(jī)特性優(yōu)點(diǎn)：
(1) 外形小巧，適合手套箱內(nèi)操作
(2) 耐腐蝕透明蓋，恒定扭矩定位鉸鏈
(3) 一體開模內(nèi)腔，易拆卸清洗，方便更換
(4) 液晶文本顯示，彩色面膜按鍵，簡單易用
(5) 加減速度可控可調(diào)，可設(shè)置多步程序運(yùn)行控制
(6) 直流無刷電機(jī)，推薦旋涂尺寸：4寸圓形底物
(7) 耐腐蝕PP外殼可選（EZ4-S-PP），鋁合金外殼可選（EZ4-S）
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