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中普尼實(shí)業(yè)集團(tuán)（海南）有限公司
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更新時(shí)間：2023-06-29 12:41:21瀏覽次數(shù)：320次
聯(lián)系我時(shí)，請告知來自 包裝印刷網(wǎng)產(chǎn)品用途與特點(diǎn)：1、本產(chǎn)品通過物理與化學(xué)相結(jié)合的方法，對亞微米一下線條進(jìn)行干法刻蝕，以形成精細(xì)圖形
產(chǎn)品用途與特點(diǎn)：
1、本產(chǎn)品通過物理與化學(xué)相結(jié)合的方法，對亞微米一下線條進(jìn)行干法刻蝕，以形成精細(xì)圖形。設(shè)備具有選擇比高、刻蝕速率快、重復(fù)性好、性價(jià)比高等優(yōu)點(diǎn)?？煽涛g的材料主要有 SIOx、SINx、多晶硅、硅、SIC、GaN、GaAs、聚酰亞胺、光刻膠、半導(dǎo)體材料、部分金屬等。
2、主要應(yīng)用于微電子、光電子、通訊、微機(jī)械、新材料、新能源等領(lǐng)域的器件研發(fā)和制造。
3、產(chǎn)品適合于科研院所、大專院校、中小型生產(chǎn)企業(yè)的科研及教學(xué)。
產(chǎn)品主要技術(shù)指標(biāo)
1、真空系統(tǒng)：分子泵機(jī)組
2、刻蝕室數(shù)量：單室
3、樣品有效刻蝕尺寸：Ф1 英寸～Ф8 英寸
4、刻蝕速率：0.1um～2um/min（視材料與工藝）
5、刻蝕不均勻性：±5%
6、工藝氣體：配備 3 路耐氟基腐蝕氣路，或用戶選配：氯基氣體刻蝕：可選配
7、關(guān)鍵部件：可選配進(jìn)口、國產(chǎn)
8、操作方式：可選擇手動、全自動控制模式
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