KS-C300涂膠顯影機可用于封裝、 MEMS、OLED等領(lǐng)域的涂覆顯影制程，每小時可加工180片晶片，同時產(chǎn)品可兼容不同材質(zhì)的晶片如硅、玻璃片、鍵合片、化合物等。產(chǎn)品可應(yīng)用于邏輯類、存儲類芯片、攝像頭芯片、功率器件芯片、OLED制造等領(lǐng)域。國產(chǎn)化集成電路設(shè)備的成功應(yīng)用為客戶節(jié)約了大量成本。產(chǎn)品通過SEMI S2認證。

詳細介紹

產(chǎn)品優(yōu)勢：

1.適合超薄晶圓處理，超厚膠涂敷、顯影、烘焙工藝
2.涂膠單元特殊設(shè)計，避免高黏度膠離心涂敷時產(chǎn)生的“棉花糖"現(xiàn)象
3.機臺為全封閉模塊化結(jié)構(gòu)，工藝單元靈活選配
4.占地面積小，產(chǎn)能高
5.工藝上可實現(xiàn)5mm以下晶圓翹曲片的傳送加工，熱板采用漸進式烘焙
6.可滿足工廠自動化需求，無人值守

應(yīng)用領(lǐng)域：

● 封裝
● OLED 領(lǐng)域
● MEMS

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KS-C300 12寸 集束型涂膠顯影機

沈陽芯源微電子設(shè)備股份有限公司

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