芯源公司總部位于沈陽市渾南區(qū)，并在上海臨港設(shè)有全資子公司。公司總部占地4萬平米，擁有專業(yè)的集成電路工藝開發(fā)和檢測(cè)實(shí)驗(yàn)室以及半導(dǎo)體設(shè)備生產(chǎn)組裝車間。芯源公司通過多年技術(shù)積累、創(chuàng)新提高，形成自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)體系，已擁有237項(xiàng)，其中發(fā)明167項(xiàng)。沈陽芯源公司作為國內(nèi)的半導(dǎo)體裝備制造企業(yè)，所開發(fā)的涂膠機(jī)、顯影機(jī)、噴膠機(jī)、去膠機(jī)、濕法刻蝕機(jī)、單片清洗機(jī)等產(chǎn)品，已形成完整的技術(shù)體系和豐富的產(chǎn)品系列，可根據(jù)用戶的工藝要求量身定制。產(chǎn)品適應(yīng)不同工藝等級(jí)的客戶要求，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體生產(chǎn)、封裝、MEMS、LED、OLED、3D-IC TSV、PV等領(lǐng)域?？蓾M足300mm前道制程及300mm*封裝厚膠工藝制程。芯源公司連續(xù)承擔(dān)國家02科技重大專項(xiàng)《極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝》項(xiàng)目，連續(xù)兩年被評(píng)為中國半導(dǎo)體企業(yè)。
沈陽芯源微電子設(shè)備股份有限公司目前已發(fā)布的產(chǎn)品涉及多個(gè)品類，其中包含了：
涂膠設(shè)備
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成立時(shí)間：2002年12月17日[已認(rèn)證]
注冊(cè)資本： 9246.3896484375萬元
[已認(rèn)證]
經(jīng)營范圍：集成電路的生產(chǎn)設(shè)備和測(cè)試設(shè)備及其他電子設(shè)備的開發(fā)研制、生產(chǎn)與銷售，承接相關(guān)設(shè)備安裝工程、技術(shù)服務(wù)；自營和代理各類商品和技術(shù)的進(jìn)出口業(yè)務(wù)（國家限定公司經(jīng)營或禁止進(jìn)出口的業(yè)務(wù)除外）。（依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動(dòng)。）[已認(rèn)證]
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