觀察類(lèi)型

明場(chǎng)、DIC、彩色、共聚焦、干涉相位對(duì)比

測(cè)量類(lèi)型

圖像,3D, 3D膜厚、線輪廓和坐標(biāo)

相機(jī)

5Mpx: 2448x2048 像素 (60 fps)

臺(tái)階精度

0.5%

臺(tái)階重復(fù)性

0.1%

顯示分辨率

0.001 nm

拼接張數(shù)

10x12(分辨率): 175x175(低分辨率）(500Mpx)

共聚焦幀速

20 fps (5Mpx); 60 fps (1.2 Mpx)

一般垂直掃面范圍

線性平臺(tái)： 40mm 范圍；5nm 分辨率

精細(xì)垂直掃描范圍

帶有壓電掃描器; 200μm 范圍；0.5nm 分辨率

Z 測(cè)量范圍

PSI 20µm; CSI 10mm; 共聚焦和 Ai多焦面疊加 34mm

XY 工作臺(tái)范圍

手動(dòng)：40x40 mm; 電動(dòng);114x75 mm, 154x154 mm, 255x215 mm, 302x302 mm

LED光源

紅色（630納米）; 綠色（530納米）; 藍(lán)色（460納米）和白 色（575納米）

環(huán)形照明

綠色環(huán)形燈與 6 孔位鼻輪兼容

鼻輪

6 孔位全電動(dòng)

樣品反射率

0.05 % to 99%

樣品重量

25Kg

樣品高度

40mm（標(biāo)準(zhǔn)）；150mm 和 350mm（可選）

用戶(hù)管理權(quán)限

管理員，主管，高級(jí)操作員，操作員

高級(jí)軟件分析

SensoMAP,SensoPRO, SensoMATCH, SensoCOMP（可選）

功率

線電壓100-240 V AC; 頻率50/60 Hz單相

計(jì)算機(jī)

的INTEL處理器; 3840x2160像素分辨率 (4K) (27”)

操作系統(tǒng)

64 位 Windows 10 操作系統(tǒng)

重量7

61 千克（ 134 磅）

環(huán)境

溫度 10ºC至 35ºC; 濕度<80%RH; 海拔<2000米