LED 光源

白光 (40000 小時壽命)

XY 平臺移動行程

40 毫米 x 40 毫米 (1.5英寸 x 1.5英寸)

XY 平臺尺寸

240 毫米 x 155 毫米 (9.4英寸 x 6.1英寸)

傾斜范圍

± 3度

樣品重量

10 千克 (22 磅)

樣品高度

150 毫米 (6英寸) (可調節(jié))

Z軸移動行程

40 毫米 (1.6英寸)

Z 軸線性度

< 0.5 微米/毫米

Z 軸分辨率

2 納米

垂直掃描范圍

共聚焦 36 毫米; 白光干涉 7 毫米; 多焦面疊加 25米

臺階高度重復性

< 3 納米

樣品反射率

0.05 to 100 %

顯示分辨率

0.01 納米

電腦

款INTEL處理器; 2560x1440分辨率顯示屏(27寸）

操作系統(tǒng)

Microsoft Windows 10, 64-bit

系統(tǒng)

交流電100~240V; 頻率50/60 Hz（單項）

工作環(huán)境

溫度 10-35ºC; 適度< 80 % ; 海拔 < 2000 米