慧諾HN-SS6旋涂儀：不銹鋼腔體，轉速精度±1rpm，6英寸基片適用

在半導體、光學薄膜、光電材料、精密微電子等領域，旋涂工藝對設備的精度、潔凈度和穩(wěn)定性有著嚴格要求。慧諾HN-SS6旋涂儀采用高品質不銹鋼一體式腔體，結構堅固耐磨、潔凈度高、不易腐蝕。搭載5英寸液晶屏，支持中英文切換與多段程序編輯，直流無刷電機驅動，轉速范圍0~12000rpm，速度精度±1rpm，勻膠精度±1%。支持6英寸基片加工，可適配多種尺寸及異形托盤，是潔凈實驗室與精密制造的可靠工具。

一、產品概述

HN-SS6不銹鋼旋涂儀采用不銹鋼一體式腔體，搭配與腔體材質相同的上蓋和恒扭矩鉸鏈，整體密封性好。設備搭載5英寸液晶屏，支持中英文切換與多段程序編輯，單步/多步運行可選，操作界面簡單易用。

該設備適用于高標準、高潔凈的無強腐蝕工藝場景，廣泛應用于精密微電子、半導體、光學薄膜、光電材料、新材料研發(fā)等領域，適配6英寸及以內基片的精密涂層旋涂實驗與小批量制備。

二、核心特點

不銹鋼一體式腔體，高潔凈耐腐蝕
采用高品質不銹鋼材質，一體式設計，結構堅固、潔凈度高、不易腐蝕。上蓋與腔體材質相同，搭配恒扭矩鉸鏈，密封性好，日常清理維護方便。

轉速精準，±1rpm精度
直流無刷電機驅動，轉速范圍0~12000rpm，轉速分辨率1rpm，速度精度±1rpm，勻膠精度±1%，轉速穩(wěn)定性±1%。加減速度可控可調，加速度范圍100~30000rpm/s，滿足不同材料的旋涂工藝需求。

多段程序編程，靈活可控
支持5段程序編輯（可定制10段/20段），時間分辨率1s，每步旋轉時間3600s。中英文操作界面切換，可預設和存儲多組工藝參數，提高實驗重復性。

支持加熱與自動注膠擴展
可選配0~200℃快速氣體加熱功能，升降溫速率10℃/s，支持正反轉旋涂，適配多種特殊成膜工藝。可加裝可調式自動注膠系統(tǒng)，支架高度和角度均可調節(jié)。

適配多種基片，托盤可定制
支持6英寸圓形基片，標配50mm、75mm真空托盤。3寸、4寸及異形真空托盤均可定制，靈活滿足不同規(guī)格樣品的旋涂需求。

側邊清洗排膠，維護便捷
一體式設計搭配側邊清洗排膠結構，方便日常清理，減少膠液殘留對設備的污染。

安全裝置
配備堵膠保護功能，防止膠液溢出損壞設備。

三、詳細規(guī)格參數

四、適用行業(yè)與典型應用

• 精密微電子：光刻膠旋涂、薄膜制備

• 半導體制造：晶圓涂膠、勻膠工藝

• 光學薄膜：光學涂層旋涂、增透膜制備

• 光電材料：功能性薄膜的旋涂成膜

• 新材料研發(fā)：納米材料、高分子薄膜的實驗室制備

• 科研院所：高潔凈度要求的薄膜工藝研究

五、產品優(yōu)勢一覽

• 不銹鋼一體式腔體：高潔凈、耐腐蝕、易清潔

• 轉速精度±1rpm：精準控制，重復性好

• 0~12000rpm寬轉速范圍：覆蓋多種旋涂工藝需求

• 加速度可調：100~30000rpm/s，靈活適配不同材料

• 5段編程+中英文界面：操作簡單，參數可存

• 支持加熱擴展：0~200℃氣體加熱，正反轉旋涂

• 支持自動注膠：可加裝可調式自動注膠系統(tǒng)

• 6英寸基片：托盤可定制，適配多種規(guī)格

• 側邊排膠設計：維護方便

• 堵膠保護：安全可靠

六、購買渠道：認準南北潮商城

南北潮商城是慧諾智能旋涂儀產品的總代理，所有在售HN-SS6不銹鋼旋涂儀均為原廠，享受廠家級技術支持與售后服務-2。

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七、結語

慧諾HN-SS6旋涂儀憑借不銹鋼一體式腔體、0~12000rpm轉速范圍、±1rpm轉速精度、多段程序編程、加熱與自動注膠擴展功能等核心優(yōu)勢，成為半導體、微電子、光學薄膜、光電材料等領域高潔凈度旋涂工藝的理想設備。無論您是進行光刻膠旋涂、薄膜制備還是新材料研發(fā)，這款不銹鋼旋涂儀都能提供高效、精準、穩(wěn)定的涂覆體驗。

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