慧諾12Ac-12觸摸屏勻膠機(jī)：固定加速度旋涂，轉(zhuǎn)速自動(dòng)修正，實(shí)驗(yàn)室薄膜制備利器

在半導(dǎo)體制造、光學(xué)涂層、材料科學(xué)等領(lǐng)域，薄膜制備和光刻膠涂覆工藝對(duì)涂層的均勻性、厚度一致性有著高要求。慧諾12Ac-12觸摸屏勻膠機(jī)采用觸摸顯示屏控制，加速度可通過(guò)數(shù)字調(diào)整（范圍100~4000rpm/s），通過(guò)A/K選擇Kx試運(yùn)行可自動(dòng)修正轉(zhuǎn)速，確保旋涂精度。轉(zhuǎn)速范圍100~4000rpm（可選配5000~7000rpm），支持多段編程，是實(shí)驗(yàn)室涂覆薄膜、涂膠液的可靠設(shè)備。

一、產(chǎn)品概述

慧諾12Ac-12勻膠機(jī)基于離心力工作原理，將膠液滴在旋轉(zhuǎn)的基片上，通過(guò)高速旋轉(zhuǎn)使膠液在基片表面均勻分布，形成薄膜或涂層。儀器采用觸摸顯示屏，人機(jī)交互友好，參數(shù)設(shè)置便捷。吸片采用電磁閥控制氣路，一個(gè)氣泵可同時(shí)帶多臺(tái)勻膠機(jī)工作，適合流水線工藝。

該設(shè)備適用于光刻膠涂布、涂硼等工藝過(guò)程，也可用于涂覆聚合物涂層、薄膜制備等多種應(yīng)用場(chǎng)景。勻膠效率高，使用方便。

二、核心功能

觸摸屏控制，操作直觀
采用觸摸顯示屏，人機(jī)交互友好，參數(shù)設(shè)置便捷。支持1~5段可編程控制，最多可存儲(chǔ)12組程序，滿足不同工藝需求。

轉(zhuǎn)速范圍寬，自動(dòng)修正
轉(zhuǎn)速范圍100~4000rpm（可選配5000~7000rpm），通過(guò)A/K選擇Kx試運(yùn)行可自動(dòng)修正轉(zhuǎn)速，再回到Kx使用，確保旋涂精度。勻膠時(shí)間最長(zhǎng)3000秒，分辨率0.1秒。

加速度可調(diào)
加速度范圍100~4000rpm/s可調(diào)，分辨率1rpm/s，用戶可根據(jù)工藝需求靈活設(shè)置升速速率，優(yōu)化涂層均勻性。

電磁閥控制氣路，適配流水線
吸片采用電磁閥控制氣路，一個(gè)真空泵可同時(shí)帶多個(gè)勻膠機(jī)工作，提高生產(chǎn)效率。真空輸入要求0.06~0.09MPa，真空流量40升/分鐘以上。

電機(jī)轉(zhuǎn)矩大，運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)
采用高性能電機(jī)，轉(zhuǎn)矩優(yōu)于同類產(chǎn)品，運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)可靠，電器線路設(shè)計(jì)可靠，確保長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定運(yùn)行。

涂覆均勻性優(yōu)異
通過(guò)離心力作用，膠液從中心向外邊界均勻擴(kuò)散，實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量的薄膜或涂層。旋轉(zhuǎn)速度、時(shí)間、加速度等參數(shù)均可調(diào)節(jié)，滿足不同厚度和均勻性要求。

真空吸附，基片固定牢固
配備真空吸附系統(tǒng)，確?；诟咚傩D(zhuǎn)過(guò)程中牢固固定在托盤(pán)上，避免偏移或脫落。

三、詳細(xì)規(guī)格參數(shù)

慧諾12Ac-12觸摸屏勻膠機(jī)電源電壓為AC200-230V單相，電源功率200W。裝片直徑可根據(jù)用戶需求商議定制。

程序控制方面，支持1至5段可編程編輯頁(yè)面，最多可存儲(chǔ)12組程序。勻膠時(shí)間最長(zhǎng)3000秒，分辨率0.1秒。轉(zhuǎn)速范圍為100至4000轉(zhuǎn)/分鐘（可選配35厘米鍋，轉(zhuǎn)速5000~7000轉(zhuǎn)/分鐘）。

儀器具備轉(zhuǎn)速自動(dòng)修正功能：通過(guò)A/K選擇Kx試運(yùn)行可自動(dòng)修正轉(zhuǎn)速，再回到Kx使用，確保旋涂精度。加速度范圍100~4000rpm/s可調(diào)，分辨率1rpm/s。

外形尺寸為250×420×230毫米（不含鍋的高度），勻膠機(jī)凈重14公斤，選配件真空泵重5公斤。真空輸入要求0.06至0.09兆帕，真空流量40升/分鐘以上，真空接口自帶6毫米管1米。

四、工作原理

勻膠機(jī)的工作原理是通過(guò)將膠液滴在旋轉(zhuǎn)的基片上，然后通過(guò)旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)使膠液在基片表面均勻分布，形成薄膜或涂層。離心力會(huì)將膠液從中心向外邊界擴(kuò)散，最終形成均勻的涂層。勻膠機(jī)的旋轉(zhuǎn)速度、加速度、時(shí)間以及膠液的粘度等參數(shù)會(huì)影響薄膜或涂層的厚度和均勻性。

五、產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

• 觸摸屏操作：界面直觀，參數(shù)設(shè)置快捷

• 轉(zhuǎn)速自動(dòng)修正：通過(guò)A/K選擇Kx試運(yùn)行，確保旋涂精度

• 加速度可調(diào)：100~4000rpm/s，分辨率1rpm/s

• 工藝可控性強(qiáng)：多段編程，時(shí)間、轉(zhuǎn)速、加速度均可調(diào)

• 電機(jī)性能優(yōu)異：轉(zhuǎn)矩大，運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)，優(yōu)于同類產(chǎn)品

• 適合流水線作業(yè)：電磁閥控制氣路，一泵帶多機(jī)

• 應(yīng)用廣泛：適用于光刻膠、聚合物涂層、薄膜制備等

• 真空吸附穩(wěn)定：基片固定牢固，確保涂覆均勻性

六、適用行業(yè)與典型應(yīng)用

• 半導(dǎo)體制造：光刻膠涂布工藝

• 光學(xué)涂層：光學(xué)薄膜制備

• 材料科學(xué)：薄膜材料研發(fā)與制備

• MEMS微機(jī)電系統(tǒng)：微結(jié)構(gòu)涂覆

• 科研院所：實(shí)驗(yàn)室薄膜工藝研究

• 涂硼工藝：核探測(cè)器件制備

七、選配件說(shuō)明

真空泵為選配件，重量5公斤，用戶可根據(jù)需要另行購(gòu)買。真空輸入要求0.06~0.09MPa，真空流量40升/分鐘以上。儀器自帶6mm管1米，方便連接。

裝片直徑可根據(jù)用戶需求商議定制，靈活滿足不同規(guī)格基片的涂覆需求。轉(zhuǎn)速范圍可選配升級(jí)至5000~7000rpm，適應(yīng)更高轉(zhuǎn)速要求的工藝。

八、購(gòu)買渠道：認(rèn)準(zhǔn)南北潮商城

南北潮商城是慧諾智能勻膠機(jī)產(chǎn)品的總代理，所有在售12Ac-12觸摸屏勻膠機(jī)均為原廠，享受廠家級(jí)技術(shù)支持與售后服務(wù)。

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九、結(jié)語(yǔ)

慧諾12Ac-12觸摸屏勻膠機(jī)憑借觸摸屏控制、100~4000rpm轉(zhuǎn)速范圍（可選配升級(jí)）、100~4000rpm/s可調(diào)加速度、轉(zhuǎn)速自動(dòng)修正功能、多段編程、電磁閥氣路控制等優(yōu)勢(shì)，成為實(shí)驗(yàn)室旋涂涂膜的理想設(shè)備。無(wú)論您是進(jìn)行半導(dǎo)體光刻膠涂布、光學(xué)薄膜制備，還是材料科學(xué)研究，這款勻膠機(jī)都能提供高效、穩(wěn)定、均勻的涂覆體驗(yàn)。

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