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自動光譜橢偏儀SENDURO®

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱北京瑞科中儀科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時間2025/1/1 6:35:53
  • 訪問次數(shù)83
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北京瑞科中儀科技有限公司專注半導體材料研究分析設(shè)備的研發(fā)和應用。專業(yè)的團隊,專精的服務,提供理想的解決方案。

我們長期專注于半導體材料研究與分析設(shè)備的經(jīng)銷和代理,為高校、企業(yè)科研工作者提供專業(yè)的分析解決方案。以專業(yè)技能為導向,用科技來解決用戶在科研中遇到的難題。專業(yè)的技術(shù)工程師和科研工作者進行現(xiàn)場演示和技術(shù)交流,打消顧慮,彼此協(xié)作,為我國的科研領(lǐng)域譜寫新篇章。

北京瑞科中儀科技有限公司長期代理銷售供應多種分子材料的研究分析設(shè)備,其中包括但不限于掃描電子顯微鏡、感應耦合等離子體化學氣相沉積系統(tǒng)、離子束刻蝕機、等離子清洗機、物理氣相沉積系統(tǒng)以及各品牌的光學顯微鏡以及實驗室設(shè)備儀器。

客戶至上的服務理念,以人為本的企業(yè)文化,我們始終為用戶提供專業(yè)的服務!

合作丨共贏,選擇我們,選擇未來!

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半導體材料分析,材料刻蝕
簡要描述:自動光譜橢偏儀SENDURO#174;所有的全自動光譜橢偏免除了用戶根據(jù)高度和傾斜度手動地對準樣品的麻煩,這對于高精度和可重復的光譜橢偏是必要的。
自動光譜橢偏儀SENDURO® 產(chǎn)品信息

自動對準

自動光譜橢偏儀SENDURO®所有的全自動光譜橢偏免除了用戶根據(jù)高度和傾斜度手動地對準樣品的麻煩,這對于高精度和可重復的光譜橢偏是必要的。該自動對準傳感器大大減少了操作誤差,適用于透明和反射樣品,即使在彎曲的樣品上也可實現(xiàn)自動掃描。

操作簡單

配方模式非常適合于生產(chǎn),工藝監(jiān)控以及研發(fā)的常規(guī)應用。該光譜橢偏儀帶有隨機可的配方數(shù)據(jù)庫,可以根據(jù)您的具體需要對其進行修改。

步進掃描分析器

自動光譜橢偏儀SENDURO®步進掃描分析器SSA是SENTECH光譜橢偏技術(shù)的一個特征。分析樣品的總時間只需幾秒鐘。

SENDURO® 可測量透明和反射基片上單層薄膜和層疊膜的折射率和厚度。SENDURO® 自動掃描則實現(xiàn)了較高的樣品速度,化安裝工作量和低的維護成本。該光譜橢偏儀的自動掃描具有預定義或用戶定義的模式、允許廣泛的統(tǒng)計特性和數(shù)據(jù)圖形顯示。

SENDURO® 是SENTECH自動化,占地面積小,設(shè)計緊湊的橢偏儀的代表。測量臺包括橢偏儀光學部件、自動傾斜和高度傳感器、電動樣品臺和控制器電子設(shè)備,它們?nèi)烤o湊的組合。為了達到更高產(chǎn)量的要求,我們的光譜橢偏儀也提供了片盒站裝載尺寸到300 mm的大晶片。

SENDURO® 以其高樣品測量速度,易于操作和自動對準在工業(yè)應用中表現(xiàn)出色。應用范圍從半導體上的介質(zhì)膜到玻璃上的多層光學涂層。

SENDURO® 優(yōu)異的光譜橢偏軟件具有配方模式和工程模式。配方模式致力于重復應用程序的簡單執(zhí)行。密碼控制的用戶登錄允許不同級別的用戶登錄。在交互模式下,橢偏測量通過交互式的,指導性的圖形用戶界面得到增強。此外,可以使用材料數(shù)據(jù)庫和散射模型修改已經(jīng)存在的配方或建立新的配方。

Multi sample stage with semitransparent substratesMultilayer analysis by SpectraRay/3Compact housing of semi-automated ellipsometerCassette station for up to 300 mm waferSENDURO® 300 with cassette-to-cassette loadingApplicable measurement tool for R?&?DThickness map of spin coated photoresist / Si (substrate) with step size of 500 µm and 100 µmThickness map of Al2O3 / Si (substrate) according to SEMI standardApplicable for measurement in cleanroom environment


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