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低成本高效益的光譜橢偏儀SENpro

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公司名稱北京瑞科中儀科技有限公司
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廠商性質(zhì)其他
更新時間2025/1/1 6:33:59
訪問次數(shù)117

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公司介紹主營產(chǎn)品

北京瑞科中儀科技有限公司專注半導(dǎo)體材料研究分析設(shè)備的研發(fā)和應(yīng)用。專業(yè)的團(tuán)隊，專精的服務(wù)，提供理想的解決方案。

我們長期專注于半導(dǎo)體材料研究與分析設(shè)備的經(jīng)銷和代理，為高校、企業(yè)科研工作者提供專業(yè)的分析解決方案。以專業(yè)技能為導(dǎo)向，用科技來解決用戶在科研中遇到的難題。專業(yè)的技術(shù)工程師和科研工作者進(jìn)行現(xiàn)場演示和技術(shù)交流，打消顧慮，彼此協(xié)作，為我國的科研領(lǐng)域譜寫新篇章。

北京瑞科中儀科技有限公司長期代理銷售供應(yīng)多種分子材料的研究分析設(shè)備，其中包括但不限于掃描電子顯微鏡、感應(yīng)耦合等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)、離子束刻蝕機(jī)、等離子清洗機(jī)、物理氣相沉積系統(tǒng)以及各品牌的光學(xué)顯微鏡以及實(shí)驗(yàn)室設(shè)備儀器。

客戶至上的服務(wù)理念，以人為本的企業(yè)文化，我們始終為用戶提供專業(yè)的服務(wù)！

合作丨共贏，選擇我們，選擇未來！

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半導(dǎo)體材料分析,材料刻蝕

產(chǎn)品簡介在線詢價

簡要描述：低成本高效益的光譜橢偏儀SENpro覆蓋寬的光譜范圍，從190 nm(深紫外)到3500 nm(近紅外)。傅立葉紅外光譜儀FTIR提供了高光譜分辨率用以分析厚度高達(dá)200μm的厚膜。

低成本高效益的光譜橢偏儀SENpro 產(chǎn)品信息

寬光譜范圍和高光譜精度

低成本高效益的光譜橢偏儀SENpro覆蓋寬的光譜范圍，從190 nm(深紫外)到3500 nm(近紅外)。傅立葉紅外光譜儀FTIR提供了高光譜分辨率用以分析厚度高達(dá)200μm的厚膜。

沒有光學(xué)器件運(yùn)動(步進(jìn)掃描分析器原理)

為了獲得測量結(jié)果，在數(shù)據(jù)采集過程中沒有光學(xué)器件運(yùn)動。步進(jìn)掃描分析器(SSA)原理是SENresearch 4.0光譜橢偏儀的一個特性。

雙補(bǔ)償器2C全穆勒矩陣測量

低成本高效益的光譜橢偏儀SENpro通過創(chuàng)新的雙補(bǔ)償器2C設(shè)計擴(kuò)展了步進(jìn)掃描分析器SSA原理，允許測量全穆勒矩陣。該設(shè)計是可現(xiàn)場升級和實(shí)現(xiàn)成本效益的附件。

SpectraRay/4綜合橢偏儀軟件

SpectraRay/4 是用于材料分析的全功能軟件包。SpectraRay/4 包括用于與引導(dǎo)圖形用戶界面進(jìn)行研究的交互模式和用于常規(guī)應(yīng)用的配方模式。

SENresearch 4.0 是SENTECH新的光譜橢偏儀。每一臺SENresearch 4.0光譜橢偏儀都是根據(jù)客戶具體配置的光譜范圍、選項和現(xiàn)場可升級附件而制造的。

SENresearch 4.0 使用快速的傅立葉紅外光譜儀FTIR測量至2500 nm或3500 nm的近紅外光譜。它提供了寬的光譜范圍，具有的信噪比，可選擇的光譜分辨率?？蓽y量硅薄膜厚度高達(dá)200μm。傅立葉紅外光譜儀FTIR的測量速度與二極管陣列配置相比，也可選擇高達(dá)1700納米。

新的金字塔形狀的自動角度計具有從20度到100度的角度范圍。光學(xué)編碼器確保精度和角度設(shè)置的長期穩(wěn)定性。光譜橢偏儀手臂可以獨(dú)立移動，用于散射測量和角度分辨透射測量。

SENresearch 4.0 根據(jù)步進(jìn)掃描分析器(SSA)原理進(jìn)行操作。SSA將強(qiáng)度測量與機(jī)械運(yùn)動分離，從而允許分析更加粗糙的樣品。所有光學(xué)部件在數(shù)據(jù)采集期間都處于靜止?fàn)顟B(tài)。此外，SENresearch 4.0 包括用于自動掃描和同步應(yīng)用的快速測量模式。

定制的SENresearch 4.0橢偏儀可以配置用于標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)用。例如介電層堆疊、紋理表面、光學(xué)和結(jié)構(gòu)(3D)各向異性樣品。為各種各樣的應(yīng)用提供了預(yù)定義的配方。

Spectral ranges for configuring the SENresearch 4.0 New computer controlled Pyramid Goniometer option Spectroscopic ellipsometer with field upgradable microspot accessory Reflection measurement at 20° using motorized Pyramid Goniometer Field upgradable sample stage with automated hight and tilt adjustment Microspot measurement on Si-sphere Spectroscopic ellipsometer for process monitoring