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TAIKO無油真空泵

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2015-06-08 14:38:44
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【簡單介紹】

產(chǎn)品名稱：產(chǎn)品型號(hào)：產(chǎn)品價(jià)格：28000 臺(tái)

【詳細(xì)說明】

大晃開發(fā)的*形狀的螺桿（），它低速轉(zhuǎn)動(dòng)連續(xù)排氣，真空度可達(dá)到１０-1Pa，它可稱為是劃時(shí)代的干式真空泵。單級(jí)結(jié)構(gòu)簡單，易于保養(yǎng)和維修，在排除凝聚性氣體，腐蝕性氣體和反應(yīng)生成物的半導(dǎo)體工藝中以及在硅單晶制造的抽真空等領(lǐng)域也發(fā)揮著威力。

排気速度：１０００～７８０００　L/min

到達(dá)真空度：１０-1　 Pa

口　　　徑： Φ４０～ Φ２００　mm


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