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PECVD用真空泵

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2015-06-08 14:36:38
259

【簡(jiǎn)單介紹】

產(chǎn)品名稱：PECVD用真空泵產(chǎn)品型號(hào)：產(chǎn)品價(jià)格：20000 臺(tái)

【詳細(xì)說明】

TAIKO真空泵具有以下特點(diǎn)：

1 是世界*的低轉(zhuǎn)速泵浦（3600rpm），使泵浦具有了噪音低，震動(dòng)小，延長(zhǎng)了軸承、軸封以及齒輪的使用壽命；

2、具有良好的排出固體物；

3、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，零件少，拆卸、組裝非常簡(jiǎn)單；

4、能夠滿足10-1Pa極限真空要求；

5、抗腐蝕性氣體；

6、操作性良好的泵浦控制器；

7、配有干式泵浦高性能機(jī)械增壓器。


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