真空閉鎖切斷工位頭與真空系統(tǒng)的通道 , 當(dāng)燈管漏氣時(shí) , 規(guī)管測(cè)出異常并關(guān)閉 , 以免影響下一支燈管。12.2 中心盤(pán)配置
中心盤(pán)的狀態(tài)對(duì)排氣機(jī)的性能至關(guān)重要，
它是一個(gè)有相對(duì)運(yùn)動(dòng)部件的高氣密性組件 ,中
路油槽與儲(chǔ)油杯相連，在大氣壓力的作用下 ,
油透過(guò)上下盤(pán)的結(jié)合面向兩側(cè)油槽滲透 , 這是
一個(gè)不通且 "通" 的過(guò)程 , 滲透進(jìn)行得非常緩
慢。這層油膜既擋住了氣體的滲透 , 也給中心
盤(pán)提供了可靠的潤(rùn)滑。
要經(jīng)常觀察示油瓶的狀態(tài)，正常情況下，
油面每月上升不超過(guò)1mm ,沒(méi)有氣泡或偶有微
小不連續(xù)氣泡。若油面上升過(guò)快 , 產(chǎn)生連續(xù)性
氣泡 , 則應(yīng)注意其對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量的影響。若產(chǎn)生
大氣泡，油面呈“沸騰”狀 , 說(shuō)明中心盤(pán)內(nèi)部
劃傷或裝配狀態(tài)變化 , 應(yīng)立即停機(jī)檢修。另外，
油面的高度隨著使用的時(shí)間的延續(xù)而上升 , 停
機(jī)后略有下降 , 若油面短期內(nèi)明顯上升 , 儲(chǔ)油
杯油面相應(yīng)降低，說(shuō)明中心盤(pán)內(nèi)部間隙較大，應(yīng)盡早檢修。

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