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硅片平面拋光機(jī)

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深圳市方達(dá)研磨技術(shù)有限公司
2018-03-23 09:29:20
深圳市寶安區(qū)石巖街道洲石路旭生實(shí)業(yè)
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【簡單介紹】

硅片平面拋光機(jī)產(chǎn)品規(guī)格：φ300×φ120×12t 參考價(jià)格：面議

【詳細(xì)說明】

硅片平面拋光機(jī)特點(diǎn)

1．本系列研磨機(jī)的上、下研磨盤可進(jìn)行自動(dòng)修盤。

2．采用四個(gè)電機(jī)同步拖動(dòng)，變速范圍更廣，運(yùn)動(dòng)精度更高，響應(yīng)速度更快，能適應(yīng)不同研磨材料及研磨工藝的要求，實(shí)現(xiàn)了軟啟動(dòng)、軟停止，調(diào)速穩(wěn)定，沖擊小。

3．修面機(jī)采用伺服馬達(dá)驅(qū)動(dòng)，能確保油壓懸浮導(dǎo)軌滑動(dòng)更加平穩(wěn)，得到的平面修整效果非好。

4．控制系統(tǒng)中采用DSP、Web-Link、彩色終端等*技術(shù)，系統(tǒng)的響應(yīng)速度更快、更精確，并具有遠(yuǎn)程監(jiān)控，遠(yuǎn)程維護(hù)功能；

5．本系列研磨機(jī)有光柵厚度控制系統(tǒng)，加工后的產(chǎn)品厚度公差可控制在±0.002mm范圍內(nèi)。

硅片平面拋光機(jī)技術(shù)參數(shù)：

型號(hào)	SX-4B	SX-5B	SX-6B	SX--7BG	SX--9B
研磨盤規(guī)格：	φ200×φ100×12t	φ300×φ120×12t	φ380×φ140×12t	φ510×φ200×12t	φ635×φ240×12t
zui大加工工件尺寸	φ60mm	φ100mm	φ130mm	φ165mm	φ200mm
工件平面度（25mm）	±0.1u以內(nèi)	±0.1u以內(nèi)	±0.1u以內(nèi)	±0.1u以內(nèi)	±0.2u以內(nèi)
工件平行度（25mm）	±0.2u以內(nèi)	±0.2u以內(nèi)	±0.2u以內(nèi)	±0.2u以內(nèi)	±0.4u以內(nèi)
工件粗糙度（石英材料）	0.4nm以內(nèi)	0.4nm以內(nèi)	0.4nm以內(nèi)	0.4nm以內(nèi)	0.4nm以內(nèi)
研磨盤修面后平行度	±1u以內(nèi)	±1u以內(nèi)	±1u以內(nèi)	±2u以內(nèi)	±2u以內(nèi)
游輪規(guī)格	φ80mm	φ125mm	φ155mm	φ190mm	φ230mm
游輪數(shù)量	5 枚	5 枚	5 枚	5 枚	5 枚
下研磨盤轉(zhuǎn)速	0~180rpm	0~180rpm	0~180rpm	0~140rpm	0~140rpm
下研磨盤電機(jī)功率	0.4kw 3相380V	0.4kw 3相380V	0.75kw 3相380V	1.5kw 3相380V	2.2kw 3相380V
上研磨盤研磨轉(zhuǎn)速	0~60rpm	0~60rpm	0~60rpm	0~60rpm	0~60rpm
上研磨盤電機(jī)功率	0.2kw 3相380V	0.2kw 3相380V	0.4kw 3相380V	0.75kw 3相380V	1.5kw 3相380V
上研磨盤修面轉(zhuǎn)速	0~180rpm	0~180rpm	0~180rpm	0~140rpm	0~140rpm
上研磨盤修面電機(jī)功率	0.2kw 3相380V	0.2kw 3相380V	0.4kw 3相380V	0.4kw 3相380V	0.75kw 3相380V
太陽輪轉(zhuǎn)速	0~60rpm	0~60rpm	0~60rpm	0~60rpm	0~60rpm
太陽輪電機(jī)功率	0.2kw 3相380V	0.2kw 3相380V	0.4kw 3相380V	0.4kw 3相380V	0.75kw 3相380V
外齒輪轉(zhuǎn)速	0~30rpm	0~30rpm	0~30rpm	0~30rpm	0~30rpm
外齒輪電機(jī)功率	0.2kw 3相380V	0.2kw 3相380V	0.4kw 3相380V	0.4kw 3相380V	0.75kw 3相380V
修面機(jī)速度	200mm/分鐘	200mm/分鐘	200mm/分鐘	200mm/分鐘	200mm/分鐘
修面機(jī)伺服馬達(dá)功率	750w	750w	750w	750w	750w
外形尺寸：	680×1000×2100mm	740×1100×2200mm	800×1200×2300mm	1000×1450×2400mm	1200×16150×2400mm
重量：	760kg	850kg	1100kg	1600kg	2300kg

如有任何業(yè)務(wù)問題請(qǐng)登陸咨詢： http://www.lapping。。ｃｏｍ.cn/; http://www.szfangda。。ｃｏｍ.cn/ ; http://www.szfangda。。ｃｎ/ ; http://www.ympgj。。ｃｏｍ/ ：吳。

工作原理：

1．本系列研磨機(jī)為超高精密研磨設(shè)備，上、下研磨盤作相反方向轉(zhuǎn)動(dòng)，工件在載體內(nèi)作既公轉(zhuǎn)又自轉(zhuǎn)的游星運(yùn)動(dòng)。磨削阻力小不損傷工件，而且兩面均勻磨削生產(chǎn)效率高。

2．本系列研磨機(jī)修整機(jī)構(gòu)采用油壓懸浮導(dǎo)軌前后往復(fù)運(yùn)動(dòng)，金剛石修面刀給研磨盤的研磨面進(jìn)行平面修整。


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