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氬離子拋光儀 Ilion II

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產(chǎn)品型號697

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廠商性質(zhì)其他

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更新時間：2026-02-24 08:57:59瀏覽次數(shù)：82次

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深圳市順心科技有限公司

經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：148條

所在地區(qū)：廣東深圳市

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產(chǎn)品簡介

氬離子拋光儀Ilion™ II 是一款桌面型設(shè)備，用于制備截面樣品，同時利用寬束氬離子對樣品進(jìn)行平面拋光，以便樣品在 SEM及其它設(shè)備上進(jìn)行檢測分析。 Ilion II可對不同種類的材料進(jìn)行拋光，包括復(fù)合材料，以及具有不同的機械硬度、尺寸和物理特性的合金。 Ilion II 配有 Gatan 的 WhisperLok®樣品交換系統(tǒng)，可選配可控溫液氮冷卻臺。

詳細(xì)介紹

性能優(yōu)勢

WhisperLok 系統(tǒng): 無需破壞主腔室真空，樣品交換時間小于1 分鐘。
低能聚焦潘寧離子槍:降低表面損傷，改善 EBSD 及 CL 等低能拋光技術(shù)下的實驗成果。
能量從0.1 到 8.0 kV 可調(diào): 低能區(qū)減少非晶層，高能區(qū)大幅提高制樣速度。
液氮冷臺：消除熱效應(yīng)所產(chǎn)生的樣品損傷。
10 英寸彩色觸摸屏控制: 通過圖形用戶界面 (GUI) ，快速簡便地訪問所有的控制參數(shù) 。
數(shù)碼變焦顯微鏡:實時觀察拋光過程。
DigitalMicrograph 軟件彩照存儲: 能夠?qū)⒋鎯Φ墓鈱W(xué)圖像以相同的格式與 SEM 數(shù)據(jù)一起使用。

技術(shù)規(guī)格

Ilion II 系統(tǒng)
離子源
離子槍		兩個配有稀土磁鐵的潘寧離子槍
拋光角度 (°)		+10 到-10°，每支離子槍可獨立調(diào)節(jié)
離子束能量 (kV)		0.1 – 8.0
離子束流密度(A/cm2)		10
拋光速率 (µm/h) 8.0 kV 條件下		300（對于硅試樣）
離子束直徑		可用氣體流量計或放電電壓來調(diào)節(jié)
離子束直徑		可用氣流控制器或放電電壓來調(diào)節(jié)立調(diào)節(jié)
樣品臺		真空系統(tǒng)
樣品大小(長 x 寬 x 高, mm)		10 x 10 x 4
樣品裝載		Ilion 的樣品擋板
轉(zhuǎn)速 (rpm)		0.5 – 6.0
束流調(diào)制		角度范圍可調(diào)的單束調(diào)制或雙束調(diào)制，
樣品觀察		或者不調(diào)制
真空系統(tǒng)
干泵系統(tǒng)		兩級隔膜泵支持 80 升/秒的渦輪分子泵
壓力 (torr)
基本壓		5 x 10-6
工作壓		8 x 10-5
真空規(guī)		冷陰極型，用于主樣品室；固體型，用前級機械泵
樣品氣鎖		WhisperLok技術(shù)，樣品交換時間小于1 分鐘
用戶界面
10 英寸彩色觸摸屏		操作簡單，且能夠控制所有參數(shù)和配方式操作
尺寸及使用要求
外形尺寸 (L x W x H, mm)		575 x 495 x 615
運輸重量(kg)		45
功耗 (W)
運行中		200
待機中		100
電源要求		通用 100 – 240 VAC，50/60 Hz（用戶指定電壓和頻率）
氬氣(psi)		25