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氬離子拋光儀 Ilion II

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產(chǎn)品型號(hào)697

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廠(chǎng)商性質(zhì)其他

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更新時(shí)間：2026-02-24 08:57:59瀏覽次數(shù)：92次

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深圳市順心科技有限公司

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所在地區(qū)：廣東深圳市

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

氬離子拋光儀Ilion™ II 是一款桌面型設(shè)備，用于制備截面樣品，同時(shí)利用寬束氬離子對(duì)樣品進(jìn)行平面拋光，以便樣品在 SEM及其它設(shè)備上進(jìn)行檢測(cè)分析。 Ilion II可對(duì)不同種類(lèi)的材料進(jìn)行拋光，包括復(fù)合材料，以及具有不同的機(jī)械硬度、尺寸和物理特性的合金。 Ilion II 配有 Gatan 的 WhisperLok®樣品交換系統(tǒng)，可選配可控溫液氮冷卻臺(tái)。

詳細(xì)介紹

性能優(yōu)勢(shì)

WhisperLok 系統(tǒng): 無(wú)需破壞主腔室真空，樣品交換時(shí)間小于1 分鐘。
低能聚焦潘寧離子槍:降低表面損傷，改善 EBSD 及 CL 等低能拋光技術(shù)下的實(shí)驗(yàn)成果。
能量從0.1 到 8.0 kV 可調(diào): 低能區(qū)減少非晶層，高能區(qū)大幅提高制樣速度。
液氮冷臺(tái)：消除熱效應(yīng)所產(chǎn)生的樣品損傷。
10 英寸彩色觸摸屏控制: 通過(guò)圖形用戶(hù)界面 (GUI) ，快速簡(jiǎn)便地訪(fǎng)問(wèn)所有的控制參數(shù) 。
數(shù)碼變焦顯微鏡:實(shí)時(shí)觀(guān)察拋光過(guò)程。
DigitalMicrograph 軟件彩照存儲(chǔ): 能夠?qū)⒋鎯?chǔ)的光學(xué)圖像以相同的格式與 SEM 數(shù)據(jù)一起使用。

技術(shù)規(guī)格

Ilion II 系統(tǒng)
離子源
離子槍		兩個(gè)配有稀土磁鐵的潘寧離子槍
拋光角度 (°)		+10 到-10°，每支離子槍可獨(dú)立調(diào)節(jié)
離子束能量 (kV)		0.1 – 8.0
離子束流密度(A/cm2)		10
拋光速率 (µm/h) 8.0 kV 條件下		300（對(duì)于硅試樣）
離子束直徑		可用氣體流量計(jì)或放電電壓來(lái)調(diào)節(jié)
離子束直徑		可用氣流控制器或放電電壓來(lái)調(diào)節(jié)立調(diào)節(jié)
樣品臺(tái)		真空系統(tǒng)
樣品大小(長(zhǎng) x 寬 x 高, mm)		10 x 10 x 4
樣品裝載		Ilion 的樣品擋板
轉(zhuǎn)速 (rpm)		0.5 – 6.0
束流調(diào)制		角度范圍可調(diào)的單束調(diào)制或雙束調(diào)制，
樣品觀(guān)察		或者不調(diào)制
真空系統(tǒng)
干泵系統(tǒng)		兩級(jí)隔膜泵支持 80 升/秒的渦輪分子泵
壓力 (torr)
基本壓		5 x 10-6
工作壓		8 x 10-5
真空規(guī)		冷陰極型，用于主樣品室；固體型，用前級(jí)機(jī)械泵
樣品氣鎖		WhisperLok技術(shù)，樣品交換時(shí)間小于1 分鐘
用戶(hù)界面
10 英寸彩色觸摸屏		操作簡(jiǎn)單，且能夠控制所有參數(shù)和配方式操作
尺寸及使用要求
外形尺寸 (L x W x H, mm)		575 x 495 x 615
運(yùn)輸重量(kg)		45
功耗 (W)
運(yùn)行中		200
待機(jī)中		100
電源要求		通用 100 – 240 VAC，50/60 Hz（用戶(hù)指定電壓和頻率）
氬氣(psi)		25