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納米壓痕儀

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產(chǎn)品型號(hào)FT-I04

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深圳市順心科技有限公司

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所在地區(qū)：廣東深圳市

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

作為一臺(tái)基于MEMS技術(shù)的納米壓痕儀，F(xiàn)T-I04使用獲得的FemtoTools微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)?；诙嗄甑膭?chuàng)新，F(xiàn)T-I04納米壓痕儀具有的分辨率、可重復(fù)性和動(dòng)態(tài)穩(wěn)定性。FT-I04專(zhuān)門(mén)針對(duì)金屬、陶瓷、聚合物、薄膜和涂層等材料的力學(xué)性能測(cè)試進(jìn)行了優(yōu)化。結(jié)合可選的測(cè)試模塊，F(xiàn)T-I04可以擴(kuò) 展其功能以適應(yīng)各種研究領(lǐng)域的多功能要求。典型應(yīng)用包括使用連續(xù)剛度法(CSM)納米壓痕測(cè)量硬度、彈性模量隨壓入深度的變化關(guān)系，以及通過(guò)高通量的納米壓痕映射（每個(gè)CSM壓痕不超過(guò)1秒）來(lái)得到力學(xué)性能的分布云圖。此外，結(jié)合可選的測(cè)試模塊，F(xiàn)T-I04還可實(shí)現(xiàn)劃痕、磨損測(cè)試、表面形貌掃描（SPM）和高溫下的納米力學(xué)測(cè)試。通過(guò)低至0.5nN的載荷背景噪音（真實(shí)環(huán)境下的保證值）和低至 0.05nm的位移背景噪音（真實(shí)環(huán)境下的保證值），以及高達(dá)2N的力學(xué)測(cè)量范圍，F(xiàn)T-I04納米壓痕儀能夠以的準(zhǔn)確性和可重復(fù)性來(lái)全面研究材料的多尺度力學(xué)行為。

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品概述

儀器構(gòu)造

可更換的測(cè)量模塊，包括：

a. Z軸納米定位平臺(tái)，可在40mm的范圍內(nèi)快速、精準(zhǔn)地將納米壓痕壓頭趨近樣品表面，真實(shí)環(huán)境下的背景噪聲低于1nm
b. 壓電掃描儀，用于高分辨率、真正位移控制的納米力學(xué)測(cè)試。其連續(xù)移動(dòng)范圍為20µm，真實(shí)環(huán)境下的背景噪聲低于0.05nm
c. 可由用戶(hù)輕松更換的FT-S系列微力傳感器，具有多種量程、壓頭尺寸和材料選項(xiàng)，可實(shí)現(xiàn)不同范圍的載荷測(cè)試。測(cè)量范圍高達(dá)2N（FT-S2’000’000），真實(shí)環(huán)境下的背景噪聲小于0.5nN（FT-S200）
雙軸納米樣品臺(tái)，用于樣品的精確定位。該樣品臺(tái)提供130x130mm的行程范圍，能實(shí)現(xiàn)背景噪音小于1nm的高精度閉環(huán)位置控制可更換的樣品架
可同時(shí)容納6個(gè)測(cè)試樣品和1個(gè)熔融石英參考樣品
高剛度花崗巖測(cè)量框架
高分辨率光學(xué)顯微鏡，具有同軸照明功能，可觀察樣品并輕松選擇壓痕位置，可選5倍、10倍、20倍或50倍物鏡
環(huán)境屏蔽和控制罩，用于隔音和環(huán)境控制

產(chǎn)品特性

高分辨率和重復(fù)性的納米壓痕測(cè)試，可檢測(cè)硬度和模量的細(xì)微變化
本征的位移控制模式，可直接記錄和量化樣品中的快速塑性變形和斷裂事件（也可選擇力控制模式或應(yīng)變速率控制模式）
涵蓋了9個(gè)數(shù)量級(jí)的位移測(cè)量范圍，包括精細(xì)模式下20μm的位移測(cè)量范圍和低于0.05nm的背景噪聲，以及長(zhǎng)程模式下40mm的測(cè)量范圍和低于1nm的噪聲
涵蓋了10個(gè)數(shù)量級(jí)的載荷測(cè)量范圍，通過(guò)可輕松更換的力傳感器能實(shí)現(xiàn)從0.5nN到2N的載荷測(cè)量，具有多種壓頭尺寸和材料選項(xiàng)
剛度的納米壓痕儀，具有的動(dòng)態(tài)范圍，測(cè)量元件的諧振頻率高達(dá)100kHz，數(shù)據(jù)采集頻率高達(dá)96kHz
的動(dòng)態(tài)測(cè)試速度，能在1秒內(nèi)完成單點(diǎn)CSM納米壓痕的測(cè)量，單次測(cè)量面積可高達(dá) 120mmx60m
可選的劃痕測(cè)試模塊，可進(jìn)行高分辨率納米劃痕、納米磨損和納米摩擦測(cè)試，以及表面形貌掃描（SPM）
可選的高溫測(cè)試模塊，結(jié)合具有獨(dú)立壓頭加熱功能的力傳感器，可在惰性氣體保護(hù)下進(jìn)行高溫等溫納米力學(xué)測(cè)試
*的力學(xué)測(cè)試和數(shù)據(jù)分析軟件，自帶多種測(cè)試參數(shù)模板，具有可定制的數(shù)據(jù)擬合和函數(shù) 計(jì)算功能，能一鍵生成硬度、模量等力學(xué)性能的云圖和對(duì)大數(shù)進(jìn)行聚類(lèi)分析

產(chǎn)品特點(diǎn)

基于MEMS技術(shù)的納米壓痕

FT-I04納米壓痕儀是一款基于微機(jī) 電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù)的高分辨率納米壓痕儀。
傳統(tǒng)的納米壓痕采用機(jī)加工和組裝制造的力測(cè)量元件，F(xiàn)emtoTools則使用半導(dǎo)體制造技術(shù)，從單晶硅片中加工出整個(gè)力傳感器。這種方法克服了傳統(tǒng)技術(shù)的局限性，能夠制造出更小和更精密的結(jié)構(gòu)，使FT-S 系列力傳感器具有更高的靈敏度、分辨率和可重復(fù)性。
此外，得益于MEMS傳感元件的小體積，其質(zhì)量比傳統(tǒng)力傳感器低幾個(gè)數(shù)量級(jí)。結(jié)合其結(jié)構(gòu)的高剛度，F(xiàn)T-S微力傳感器能夠提供高達(dá) 100kHz的諧振頻率。因此，它能有效測(cè)量快速事件或進(jìn)行高頻疲勞或循環(huán)測(cè)試。

技術(shù)參數(shù)

測(cè)量模塊
測(cè)量原理	測(cè)量原理
載荷
量程	2000 mN
背景噪音(10Hz)	500 pN
數(shù)字分辨率	0.5 pN
采樣頻率	96 kHz
位移
量程(長(zhǎng)程模式)	40 mm
長(zhǎng)程模式下背景噪音(10Hz)	1 rm
量程(精細(xì)模式)	20 um
精細(xì)模式下背景噪音(10Hz)	50 pm
數(shù)字分辨率	0.05 pm
采樣頻率	96 kHz
樣品臺(tái)
移動(dòng)范圍	130 x130 mm
背景噪音(10 Hz)	1 nm
顯微鏡
相機(jī)	500萬(wàn)像素CN08傳感器
物鏡	5x，10x.20x。50x
聚焦控制	電動(dòng)
同軸光源	可調(diào)節(jié)LED光源