瑞士VAT UHV系列超高真空閥門

一、UHV系列核心特性

1. 產(chǎn)品定位

• 類型：全金屬密封超高真空閥（Ultra-High Vacuum Valve）

• 適用真空范圍：

• 標準版：10?? ~ 10?12 mbar

• 定制版：可達10?13 mbar（特殊烘烤設計）

• 核心優(yōu)勢：

• 零泄漏：金屬密封漏率 <1×10?12 mbar="">（He檢漏）。

• 耐高溫烘烤：閥體可承受 250°C~300°C 烘烤（標準版）/ 450°C（定制版）。

• 無有機材料：全金屬結構，避免放氣污染。

2. 設計

• 雙密封系統(tǒng)：主密封（金屬刀口） + 次級密封（彈性補償）。

• 低扭矩驅(qū)動：磁耦合或波紋管傳動，避免軸封泄漏。

• 材料純度：316L不銹鋼（EP級電解拋光），表面粗糙度<0.8μm。<>

二、型號分類與技術參數(shù)

1. 型號命名規(guī)則（以VAT UHV 24為例）

2. 子型號對比表

3. 詳細技術參數(shù)

三、典型應用場景

1. 半導體制造

• 應用：

• 刻蝕機/離子注入機的腔體隔離（防顆粒污染）。

• 分子束外延（MBE）系統(tǒng)的超高真空維持。

• 型號推薦：

• VAT UHV 24-A（DN40，氣動快速隔離）。

2. 科研裝置

• 應用：

• 同步輻射光源的束線控制。

• 核聚變裝置（如托卡馬克）的真空分段。

• 型號推薦：

• VAT UHV 54-M（DN100，手動可靠密封）。

3. 航天與鍍膜

• 應用：

• 衛(wèi)星推進劑儲罐的真空密封測試。

• 光學鍍膜機的腔體壓力調(diào)節(jié)。

• 型號推薦：

• VAT UHV 10-E（DN16，電動精密控制）。

四、選型與安裝要點

1. 選型關鍵因素

• 通徑需求：根據(jù)流量計算（如DN40對應約20 L/s @10?? mbar）。

• 驅(qū)動方式：

• 氣動：快速開關（適合安全隔離）。

• 電動：可集成自動化控制（如PLC）。

• 法蘭標準：

• CF法蘭：超高真空（金屬密封）。

• ICF法蘭：極小漏率需求（如10?13 mbar）。

2. 安裝規(guī)范

• 清潔要求：

• 安裝前用丙酮/酒精清潔法蘭面（戴無塵手套）。

• 扭矩控制：

• CF法蘭螺栓需按對角線分步擰緊（DN40推薦8~10 Nm）。

• 烘烤建議：

• 以10°C/min速率升溫至250°C，保溫48小時。

五、維護與故障處理