Z軸行程

10mm；驅(qū)動(dòng)方式：手動(dòng)  

Theta旋轉(zhuǎn)

快速旋轉(zhuǎn)角度：360°；精調(diào)角度：±15°，精調(diào)分辨率：＜0.02°；驅(qū)動(dòng)方式：手動(dòng)

Chuck臺(tái)

尺寸:203mm(8inch) ；真空盤可調(diào)節(jié)高度：±5mm

真空快速切換開關(guān)，真空調(diào)節(jié)檔位：Center、2’、4’、8’

安裝方式：真空盤與主體絕緣

臺(tái)面精度

平面度：＜10 μm

快速拉出結(jié)構(gòu)

行程：100mm