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大面積 SEM 成像

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更新時間：2025-01-01 05:06:13瀏覽次數(shù)：90次

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北京瑞科中儀科技有限公司

經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：557條

所在地區(qū)：北京北京市

聯(lián)系人：汪經(jīng)理

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產(chǎn)品簡介

簡要描述：大面積 SEM 成像通過 CAD 形狀提取在大面積和 3D 中拼接 3D SEM 圖像馬賽克

詳細(xì)介紹

CHIPSCANNER 將高分辨率電子光學(xué)、多個高效電子探測器和超精密激光干涉儀平臺技術(shù)與軟件相結(jié)合，為每層提供均勻的大面積圖像馬賽克，具有最小的拼接誤差和穩(wěn)定的亮度/對比度值和 CAD形狀提取。具有諸如

使用激光高度感應(yīng)進(jìn)行主動對焦控制
的位置和光束精度和穩(wěn)定性，以及
多種可選電子探測器，

CHIPSCANNER 可生成由 SEM 儀器直接采集的精確的大面積、高分辨率圖像馬賽克。由于每個像素的位置（甚至超過 cm2）最終由激光干涉儀平臺和超精密圖像校準(zhǔn)提供的精度得知，因此可以精確地堆疊這些圖像（ 3D 縫合）。

各種高速探測器、靈活的工作距離、并行探測器流處理和高速掃描發(fā)生器可實現(xiàn)精確、靈活的圖像采集，同時具有高吞吐量。

芯片逆向工程、材料科學(xué)和生命科學(xué)（例如連接組學(xué)）中的大面積、超高分辨率3D SEM 成像應(yīng)用需要以納米分辨率和出色的層間精度（“3D拼接'）用于布局和原理圖提取或 3D 建模。雖然傳統(tǒng) SEM 儀器本質(zhì)上受到小、未校準(zhǔn)的視場 (FOV) 和不精確的樣品定位的限制，但 CHIPSCANNER 通過將 SEM 儀器的分辨率和靈活性與準(zhǔn)確性、穩(wěn)定性和自動化相結(jié)合來解決這些挑戰(zhàn)電子束光刻 (EBL) 儀器的應(yīng)用——Raith 的核心專業(yè)領(lǐng)域。通過捕獲連續(xù)的 SEM 圖像并將它們拼接在一起以進(jìn)行進(jìn)一步分析，可以創(chuàng)建高分辨率、大面積的圖像馬賽克，而激光干涉儀平臺和視場校準(zhǔn)將重疊減少到最小值，從而減少所需的計算。真正的大面積 3D SEM！

IC 分析的數(shù)據(jù)管理

木馬、芯片設(shè)計恢復(fù)、備件供應(yīng)、IP 保護(hù)和索賠證明只是 CHIPSCANNER 幫助解決的眾多挑戰(zhàn)中的一小部分。最初是為集成電路分析
領(lǐng)域出現(xiàn)的苛刻要求和工作負(fù)載而設(shè)計的，CHIPSCANNER 不僅提供精度的準(zhǔn)確結(jié)果。它還允許以納米分辨率和出色的層間精度掃描芯片或任何其他樣本，以實現(xiàn) 3D 模型、布局和可選的網(wǎng)表提取。在內(nèi)存容量和處理時間方面都可以輕松處理高量的數(shù)據(jù)。軟件工具可用于進(jìn)一步處理圖像，以提取和優(yōu)化有價值的 CAD 數(shù)據(jù)（用于掩模生成或布局比較）。

特征

校準(zhǔn)的單圖像掃描最多

50 kx 50 k 像素

二維馬賽克最多

多個cm2

分辨率降至

<1納米

下載產(chǎn)品手冊

簡單的工作流程和直觀的 GUI，可輕松適應(yīng)科學(xué)領(lǐng)域的 3D SEM 功能

材料科學(xué)和生命科學(xué)領(lǐng)域的一系列應(yīng)用可以利用最初為半導(dǎo)體樣品成像而設(shè)計的出色成像功能。可能的用途是多方面的，因為 CHIPSCANNER 能夠為任何給定的基材提供納米分辨率的均勻 cm2 大圖像馬賽克。帶有 GUI 的直觀軟件簡化了工作，即使沒有 EBL 經(jīng)驗的用戶也可以使用該系統(tǒng)并達(dá)到預(yù)期的結(jié)果。聯(lián)系我們討論您的具體問題。

接觸

應(yīng)用領(lǐng)域

芯片的不同層可以以盡可能高的精度堆疊；Reatiss LLC，烏克蘭

芯片SRAm區(qū)域的不同縮放部分；Reatiss LLC，烏克蘭

芯片的過孔層；Reatiss LLC，烏克蘭

1.6 mm x 0.7 mm 大面積脊髓橫截面，提取高分辨率圖像，并使用 100 μm x 100 μm 校正視場捕獲；美國喬治華盛頓大學(xué)

放大同一脊髓；美國喬治華盛頓大學(xué)

小鼠脊髓樹脂切片的區(qū)域；美國喬治華盛頓大學(xué)

使用用于 IC 逆向工程的馬賽克功能顯示 DRAM 器件的多個 SEM 圖像（每個 30 µm 視場）

以更高分辨率放大圖像數(shù)據(jù)（左），顯示綠色垂直線所示的可忽略不計的拼接誤差

進(jìn)一步放大同一成像儀，并顯示拼接邊界（綠線）

瑞思服務(wù)——全程陪伴您

就 CHIPSCANNER 而言，規(guī)格和系統(tǒng)性能參數(shù)無疑是決策的驅(qū)動因素。然而，如果要確保系統(tǒng)在整個生命周期內(nèi)的高效運行、連續(xù)正常運行時間以及后續(xù)的可靠支持，還需要考慮更多因素。

Raith Service 擁有一支由專業(yè)服務(wù)工程師組成的團(tuán)隊，確保您能夠充分利用您的系統(tǒng)。當(dāng)您決定使用 Raith 系統(tǒng)時，始終包括所有現(xiàn)場調(diào)查以及環(huán)境測量、對最終潔凈室實驗室設(shè)置的支持、工廠和現(xiàn)場驗收以及全面的現(xiàn)場培訓(xùn)。此外，所有時區(qū)均免費提供應(yīng)用程序支持。

Raith 服務(wù)合同遵循模塊化方案，可以根據(jù)您的個人要求和預(yù)算進(jìn)行配置。請訪問我們的服務(wù)網(wǎng)站或與我們聯(lián)系以了解更多信息。

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大面積 SEM 成像

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