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刻蝕系統(tǒng)

詳細(xì)摘要：簡要描述：刻蝕系統(tǒng)三到六個端口傳送腔室可用于集成ICP等離子刻蝕機(jī)、RIE刻蝕機(jī)、原子層沉積系統(tǒng)、PECVD和ICPECVD沉積設(shè)備，以滿足研發(fā)的要求。樣品可以...
產(chǎn)品型號：所在地：更新時間：2025-01-01 在線留言
集成等離子刻蝕和沉積的多腔系統(tǒng)

詳細(xì)摘要：簡要描述：集成等離子刻蝕和沉積的多腔系統(tǒng)三到六個端口傳送腔室可用于集成ICP等離子刻蝕機(jī)、RIE刻蝕機(jī)、原子層沉積系統(tǒng)、PECVD和ICPECVD沉積設(shè)備，以滿...
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