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上海精切半導(dǎo)體設(shè)備有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

4"高功率空氣軸承主軸，30krpm時(shí)2.5KW

詳細(xì)介紹

4" 高功率空氣軸承主軸，30krpm時(shí)2.5KW。直流無(wú)刷電機(jī)，閉環(huán)速度控制。覆蓋 12" 的圓形產(chǎn)品、12" x 9" 方形基板帶框架或 12" x 12" 卡盤（不帶框架）。

系統(tǒng)配有閉環(huán)轉(zhuǎn)向臺(tái)，針對(duì)多角度切割進(jìn)行優(yōu)化，適用各種產(chǎn)品，例如：

? 陶瓷基板

? 氧化鋁

? 混合物

? 厚膜設(shè)備等

系統(tǒng)規(guī)格：

大面積系統(tǒng)配置：300mm x 300mm

刀片尺寸：4"-5"

主軸：空氣軸承，直流無(wú)刷，30 krpm/2.5 kW

分度軸（y）

驅(qū)動(dòng)裝置：滾珠軸承絲桿，配步進(jìn)電機(jī)

控制：線性編碼器

分辨率：0.2 µm

累積精度：1.5 µm

分度精度：1.0 µm

傳送軸（X）

氣動(dòng)滑塊

驅(qū)動(dòng)裝置：滾珠軸承絲桿，配直流無(wú)刷電機(jī)

傳送速度：高達(dá) 600 mm/sec

切割深度軸（z）

驅(qū)動(dòng)裝置：滾珠軸承絲桿，配步進(jìn)電機(jī)

分辨率：0.2 µm

精度：2.0 µm

重復(fù)精度：1.0 µm

行程：50 mm

旋轉(zhuǎn)編碼器

Z線性編碼器 - 可選件

Z間隙高達(dá)3" - 可選

旋轉(zhuǎn)軸 (?)

驅(qū)動(dòng)：閉環(huán)、直接驅(qū)動(dòng)、直流無(wú)刷

精度：4 arc-sec

重復(fù)精度：4 arc-sec

行程：350度

視覺(jué)系統(tǒng)

數(shù)碼攝像頭、Fire-Wire技術(shù)、高亮LED照明（直射和斜射）

x55-x210或x35-x140（可選）連續(xù)數(shù)字變焦。

設(shè)施

電氣：200-240VAC，50/60Hz，單相

氣源：260 L/min @ 5.5bar

主軸冷卻水：1.1 L/min廠務(wù)端用水

切割用水：3L/min

尺寸（WXDXH）

965×1300×1600 mm

重量：900 kg

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