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行業(yè)產品

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上海精切半導體設備有限公司


參  考  價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準

產品型號

品       牌

廠商性質其他

所  在  地上海市

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更新時間:2024-07-29 11:34:05瀏覽次數(shù):237次

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經營模式:其他

商鋪產品:50條

所在地區(qū):上海上海市

產品簡介

4"高功率空氣軸承主軸,30krpm時2.5KW

詳細介紹


4" 高功率空氣軸承主軸,30krpm時2.5KW。直流無刷電機,閉環(huán)速度控制。覆蓋 12" 的圓形產品、12" x 9" 方形基板帶框架或 12" x 12" 卡盤(不帶框架)。


系統(tǒng)配有閉環(huán)轉向臺,針對多角度切割進行優(yōu)化,適用各種產品,例如:

? 陶瓷基板

? 氧化鋁

? 混合物

? 厚膜設備等

系統(tǒng)規(guī)格:

大面積系統(tǒng)配置:300mm x 300mm

刀片尺寸:4"-5"

主軸:空氣軸承,直流無刷,30 krpm/2.5 kW

分度軸(y)

驅動裝置:滾珠軸承絲桿,配步進電機

控制:線性編碼器

分辨率:0.2 µm

累積精度:1.5 µm

分度精度:1.0 µm

傳送軸(X)

氣動滑塊

驅動裝置:滾珠軸承絲桿,配直流無刷電機

傳送速度:高達 600 mm/sec

切割深度軸(z)

驅動裝置:滾珠軸承絲桿,配步進電機

分辨率:0.2 µm

精度:2.0 µm

重復精度:1.0 µm

行程:50 mm

旋轉編碼器

Z線性編碼器 - 可選件

Z間隙高達3" - 可選

旋轉軸 (?)

驅動:閉環(huán)、直接驅動、直流無刷

精度:4 arc-sec

重復精度:4 arc-sec

行程:350度

視覺系統(tǒng)

數(shù)碼攝像頭、Fire-Wire技術、高亮LED照明(直射和斜射)

x55-x210或x35-x140(可選)連續(xù)數(shù)字變焦。

設施

電氣:200-240VAC,50/60Hz,單相

氣源:260 L/min @ 5.5bar

主軸冷卻水:1.1 L/min廠務端用水

切割用水:3L/min

尺寸(WXDXH)

965×1300×1600 mm

重量:900 kg






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