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PM216L真空等離子處理機(jī)

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

編號(hào)項(xiàng)目技術(shù)參數(shù)1機(jī)臺(tái)整機(jī)規(guī)格1450mm(W)times;1720mm(H)times;1150 mm(D)2真空室規(guī)格進(jìn)口鋁 600(W)×600(H)×600(D)mm3電極板規(guī)格10層平板式電極板（560(W)times;500(D)mm）可定制4控制系統(tǒng)觸摸屏+PLC控制5真空測(cè)定系統(tǒng)皮拉尼電阻式真空計(jì)6氣體計(jì)量系統(tǒng)精確質(zhì)量流量控制計(jì) MFC7氣體路數(shù)2mdash;5路工作氣體可選：Ar2、N2、H2、CF4、O28等離子發(fā)生器500W1KW等離子體發(fā)生源，40KHz（可選13.56MHz）9工···

詳細(xì)介紹

編號(hào)	項(xiàng)目	技術(shù)參數(shù)
1	機(jī)臺(tái)整機(jī)規(guī)格	1450mm(W)×1720mm(H)×1150 mm(D)
2	真空室規(guī)格	進(jìn)口鋁 600(W)×600(H)×600(D)mm
3	電極板規(guī)格	10層平板式電極板（560(W)×500(D)mm）可定制
4	控制系統(tǒng)	觸摸屏+PLC控制
5	真空測(cè)定系統(tǒng)	皮拉尼電阻式真空計(jì)
6	氣體計(jì)量系統(tǒng)	精確質(zhì)量流量控制計(jì) MFC
7	氣體路數(shù)	2—5路工作氣體可選：Ar2、N2、H2、CF4、O2
8	等離子發(fā)生器	500W&1KW等離子體發(fā)生源，40KHz（可選13.56MHz）
9	工作氣體	2路工作氣體可選：Ar2、N2、H2、O2
特點(diǎn)：高精度，快響應(yīng)，良好的操控性和兼容性，*的功能和專(zhuān)業(yè)的技術(shù)支持。
用途：適用于攝像頭及行業(yè)，手機(jī)制造、半導(dǎo)體IC領(lǐng)域，硅膠、塑膠、聚合體領(lǐng)域，汽車(chē)電子行業(yè)，航空工業(yè)等。
1、印制線路板行業(yè)：高頻板表面活化，多層板表面清潔、去鉆污，軟板、軟硬結(jié)合板表面清潔、去鉆污，軟板補(bǔ)強(qiáng)前活化。 2、半導(dǎo)體IC領(lǐng)域：COB、COG、COF、ACF工藝，用于打線、焊接前的清洗； 3、硅膠、塑膠、聚合體領(lǐng)域：硅膠、塑膠、聚合體的表面粗化、刻蝕、活化。