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SR-Mapping膜厚儀供應(yīng)商

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更新時(shí)間：2025-07-27 03:40:16瀏覽次數(shù)：214次

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武漢頤光科技有限公司

經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：191條

所在地區(qū)：湖北武漢市

聯(lián)系人：顏猛

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產(chǎn)品簡介

SR-Mapping反射膜厚儀是超快速薄膜表征儀器，通過分析薄膜表面反射光和薄膜與基底界面反射光相干涉形成的反射光譜，從而測量薄膜的厚度及光學(xué)常數(shù)。

詳細(xì)介紹

一、概述

SR-Mapping 系列利用反射干涉的原理進(jìn)行無損測量，通過分析薄膜表面反射光和薄膜與基底界面反射光相干涉形成的反射譜，同時(shí)搭配R-Theta位移臺，兼容6到12寸樣品，可以對整個(gè)樣品進(jìn)行快速掃描，快速準(zhǔn)確測量薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)等信息，并對于膜厚均勻性做出評價(jià)。

■ 光學(xué)薄膜測量解決方案；

■ 非接觸、非破壞測量；

■ 核心算法支持薄膜到厚膜、單層到多層薄膜分析；

■ 膜厚重復(fù)性測量精度：0.02nm

■ 全自動(dòng)測量，測量點(diǎn)數(shù)跟位置在Recipe中可根據(jù)需要編輯

■ 采用高強(qiáng)度鹵素?zé)艄庠?，光譜覆蓋紫外可見光到近紅外范圍；