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江蘇京創(chuàng)先進(jìn)電子科技有限公司
江蘇京創(chuàng)先進(jìn)電子科技有限公司
閱讀：53發(fā)布時間：2024-7-2
近日，京創(chuàng)基于TAIKO晶圓減薄工藝推出的晶圓環(huán)切設(shè)備——AR9000RR，已經(jīng)成功進(jìn)入小批量生產(chǎn)階段。
TAIKO工藝和以往的背面研削不同，在對晶圓進(jìn)行研削時，只對晶圓內(nèi)進(jìn)行研削，保留晶片外圍的邊緣部分(約3mm)；晶圓利用該部分進(jìn)行支撐，以實現(xiàn)降低薄型晶片的搬運風(fēng)險和減少晶圓翹曲的目的。京創(chuàng)AR9000RR環(huán)切設(shè)備，可實現(xiàn)晶圓外圍TAIKO環(huán)全自動去除。
工藝參數(shù)
料盒 (Wafer In) → 切割 → 清洗甩干→ UV照射 → 取環(huán) → 丟環(huán) → 料盒(Wafer Out)
京創(chuàng)AR9000RR晶圓環(huán)切設(shè)備是一種全新的系統(tǒng)，該設(shè)備可以將TAIKO工藝下的晶圓通過環(huán)切、清洗、解膠、取環(huán)等步驟，全自動去除晶圓外環(huán)，可實現(xiàn)12片/小時以上的高效率生產(chǎn)和穩(wěn)定的取環(huán)。
定位精度：±0.1mm；
環(huán)形切割精度：±0.05mm；
加工物尺寸：12英寸晶圓；
功能配置
?取環(huán)掉環(huán)檢測；
?非接觸式測高(NCS)；
?刀片防錯功能；
?刀片破損檢測(BBD)(0.5*0.5mm)；
?切割過程中自動磨刀(Auto Dress stage)；
?智能UV解膠系統(tǒng)(按照能量自動計算UV解膠時間)；
?條形二維碼識別(BARCODE READER)。
相關(guān)技術(shù)
?多軸聯(lián)動高精度環(huán)切技術(shù)
X軸/Y軸/T軸三軸聯(lián)動進(jìn)行晶圓邊緣切割；環(huán)形切割精度：±0.05mm。
?自動尋邊對準(zhǔn)技術(shù)
利用顯微鏡對晶圓邊緣進(jìn)行自動尋邊精準(zhǔn)定位，同時輸出邊緣坐標(biāo)。
?UV精準(zhǔn)定位解膠智能控制系統(tǒng)
配合微調(diào)機(jī)械手，精準(zhǔn)定位，準(zhǔn)確解膠環(huán)切外環(huán)；自動判斷解膠時間。
?精準(zhǔn)去環(huán)、取環(huán)技術(shù)
精準(zhǔn)定位晶圓；取環(huán)臺和取環(huán)機(jī)械手合理配合設(shè)計；新型電機(jī)控制。
?高精度晶圓圓心定位技術(shù)
利用微調(diào)機(jī)械手，將晶圓中心調(diào)整至工作臺中心。定位精度：±0.1mm。
?晶圓精準(zhǔn)固定技術(shù)
吸片和邊緣真空配合特殊工作臺結(jié)構(gòu)，保證微調(diào)、切割時晶圓不會發(fā)生偏移。
?多工位、多機(jī)械臂、多電機(jī)協(xié)調(diào)加工
共4個工位、21個驅(qū)動器實現(xiàn)多工位同時協(xié)調(diào)配合加工。
我國封裝生產(chǎn)線所用設(shè)備依賴進(jìn)口，從市場乃至技術(shù)控制在他人手中，嚴(yán)重地制約了我國封裝工藝的發(fā)展。
國產(chǎn)替代進(jìn)口半導(dǎo)體設(shè)備代表的是未來，作為專注于半導(dǎo)體材料精密切割領(lǐng)域的京創(chuàng)，作為致力于“開啟全自動精密劃切設(shè)備新時代"的京創(chuàng)，十余年的風(fēng)雨兼程，十余年的拼搏創(chuàng)新，也許是時候讓世人認(rèn)識自己了。
半導(dǎo)體磨劃設(shè)備領(lǐng)域內(nèi)的“龍頭"將由中國創(chuàng)造！
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