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MC20硅片切割機(jī)

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

MC20 智能微切割系統(tǒng)具有記錄和切割埋藏缺陷的能力，是高質(zhì)量、高精度和高通量的晶體材料 SEM 樣品制備的解決方案。MC20 利用并向客戶提供增強(qiáng)的微切割技術(shù)和xian進(jìn)的光學(xué)技術(shù)。

詳細(xì)介紹

MC20 智能微切割系統(tǒng)具有記錄和切割埋藏缺陷的能力，是高質(zhì)量、高精度和高通量的晶體材料 SEM 樣品制備的解決方案。
MC20 利用并向客戶提供增強(qiáng)的微切割技術(shù)和xian進(jìn)的光學(xué)技術(shù)。

MC20 智能桌面系統(tǒng)配備精心設(shè)計(jì)的綜合光學(xué)解決方案，結(jié)合常規(guī)白光和特殊紅外光學(xué)元件，可實(shí)現(xiàn)半自動(dòng)、可靠、可重復(fù)和快速切割晶圓片和芯片，切割精度高。

從樣品的頂部和背面觀察為埋藏缺陷的失效分析提供了*的附加功能。此功能可以應(yīng)對(duì)分析半導(dǎo)體、MEMS 設(shè)備、從封裝中提取的芯片等各種故障的挑戰(zhàn)。

專用軟件可實(shí)現(xiàn)切割元件的jing確定位控制和對(duì)齊。切割后的樣品可立即進(jìn)行檢查和分析。

MC20 與 PCM 和 TMO 的組合具有目標(biāo)標(biāo)記、初始樣品提取和zui終橫截面的特點(diǎn)，具有高通量、高一致性精度和所產(chǎn)生橫截面的出色自然晶格質(zhì)量。
MC20 套件的這些gao級(jí)功能顯著縮短了故障分析和過(guò)程監(jiān)控的周轉(zhuǎn)時(shí)間。

 

更多詳情圖片






 

增強(qiáng)能力

· 針對(duì)可見(jiàn)和埋藏缺陷的半自動(dòng)可控解理工藝

· 從樣品的頂部和底部觀察

· 埋藏缺陷的配準(zhǔn)和橫截面

· 的白光和紅外光學(xué)器件

特征

  • 精度優(yōu)于5微米，多為2-3微米

  • 處理時(shí)間——一分鐘

  • 小輸入樣品或芯片 – 低至 4×2 mm

  • 離晶圓或管芯邊緣近 2 mm 的切割

  • 連續(xù)切割多個(gè)目標(biāo)

  • 具有高達(dá) 1000 倍可變放大倍率的gao級(jí)光學(xué)器件

  • 軟件可控的切割過(guò)程

  • 內(nèi)置真空

  • “免維護(hù)"服務(wù)模式

優(yōu)點(diǎn)

  • 周轉(zhuǎn)時(shí)間大大減少

  • 改進(jìn)產(chǎn)量分析

  • 改善表征

  • 改善和提高 SEM 和 FIN 的利用率

  • 擁有成本低

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