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PECS II 精密離子減薄系統(tǒng)

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上海雙金電子科技有限公司

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產(chǎn)品簡介

精密離子減薄儀用于高質(zhì)量透射電鏡樣品制備，它可精準(zhǔn)定位減薄位置并對(duì)工藝參數(shù)進(jìn)行精準(zhǔn)控制，利用寬幅氬離子束對(duì)樣品進(jìn)行拋光和鍍膜處理，從而得到高質(zhì)量的SEM成像和分析結(jié)果。

詳細(xì)介紹

精密離子減薄儀 PIPS II

型號(hào) 695

一代PIPS離子減薄系統(tǒng)樹立了透射電鏡（TEM）制樣的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)已超20年，而全新一代精密離子減薄儀(PIPS™) II基于一代PIPS有了全新的升級(jí)。

PIPS II能對(duì)減薄樣品進(jìn)行精準(zhǔn)定位。10英寸觸摸屏簡單易用，提高對(duì)減薄區(qū)域的精度控制和減薄過程的可重復(fù)性。

配備的數(shù)碼變焦顯微鏡系統(tǒng)可以實(shí)時(shí)監(jiān)測減薄過程，同時(shí)可將獲取的彩色圖像存儲(chǔ)于DM軟件中，用于與樣品在TEM中成像對(duì)比。

性能優(yōu)點(diǎn)

? 系統(tǒng)及X-Y可調(diào)樣品臺(tái)：使用樣品臺(tái)來把減薄區(qū)域精準(zhǔn)定位到離子束交叉點(diǎn)

? 低能量聚焦離子槍：改進(jìn)低電壓性能的離子槍，有用電壓低至 100 伏，從而快速安全地對(duì) FIB 制備的TEM樣品進(jìn)行拋光

? 能量從 0.1 keV到 8 keV可調(diào) : 低能范圍的性能提升可以減少非晶層

? 液氮冷臺(tái)：消除熱效應(yīng)產(chǎn)生的樣品損傷

? 10英寸彩色觸摸屏控制：簡單易用的控制圖形用戶界面，可用于顯示和控制所有 PIPS II 參數(shù)

? 數(shù)碼變焦顯微鏡系統(tǒng)：實(shí)時(shí)監(jiān)測減薄過程

? DigitalMicrograph軟件存儲(chǔ)彩色圖像：可以使用同TEM和EELS數(shù)據(jù)相同的軟件和光學(xué)數(shù)碼顯微鏡進(jìn)行圖像存儲(chǔ)和分析

應(yīng)用

? 半導(dǎo)體

? 金屬（氧化物，合金）

? 陶瓷

圖1. 平面硅110樣本，PIPS II 制備，圖2.含1 – 3% wt Ga 的快淬AlPb薄帶，使用 TEAM 0.5 進(jìn)行

zui終拋光參數(shù)：300 V, 4 min. HR-STEM 成像

技術(shù)規(guī)格

離子源
離子槍	兩個(gè)配有低能聚焦能力電極的潘寧離子槍
拋光角度（°）	+10 到 -10 每支離子槍可獨(dú)立調(diào)節(jié)
離子束能量 (kV)	0.1 – 8.0
離子束流密度峰值 (mA/cm2)	10
射束校準(zhǔn)	使用熒光屏的精密光束校準(zhǔn)
離子束直徑	可用氣體流量計(jì)或放電電壓來調(diào)節(jié)
樣品臺(tái)
樣品尺寸（mm）	3 或者 2.3
樣品夾持標(biāo)準(zhǔn) 可選	石墨臺(tái)
轉(zhuǎn)速 (rpm)	1 – 6
離子束調(diào)制	角度范圍可調(diào)的單向調(diào)制或雙向調(diào)制
X, Y 方向平移 (mm)	±0.5
樣品觀察 Option 1 Option 2	雙目顯微鏡數(shù)碼變焦顯微鏡及 DM 軟件存儲(chǔ)（選配）
真空系統(tǒng)
干泵系統(tǒng)	80 L/s 的渦輪分子泵，具備兩級(jí)隔膜前級(jí)泵
壓力 (torr) 基本壓力工作壓力	5 x 10-6 8 x 10-5
真空規(guī)	冷陰極型，用于主樣品室；固體型，用于前級(jí)機(jī)械泵
樣品氣鎖	樣品交換時(shí)間小于1 分鐘
用戶界面
10 英寸彩色觸摸屏	操作簡單，可用于顯示和控制所有 PIPS II 參數(shù)
尺寸及使用要求
外形尺寸 (長 x 寬 x 高, mm)	547 x 495 x 615
運(yùn)輸重量 (kg)	45
功耗 (W) 運(yùn)行時(shí) 待機(jī)時(shí)	200 100
電源要求	通用100/240 VAC, 50/60 Hz（用戶電壓和頻率）
氬氣 (psi)	25
注：以上技術(shù)規(guī)格如有變化將不另行通知。

訂購型號(hào)

型號(hào)	規(guī)格描述
695 Basic	PIPS II 系統(tǒng)
695 Cool	PIPS II 系統(tǒng)，包含冷臺(tái)
695 Plus	PIPS II 系統(tǒng),不含冷臺(tái)，包含配備 DM 的數(shù)碼變焦顯微鏡
695 Pro	PIPS II Pro 系統(tǒng),含冷臺(tái)以及配備 DM 的數(shù)碼變焦顯微鏡
695 Advantage	PIPS II Advantage 系統(tǒng),含PIPS II Pro+馬達(dá)驅(qū)動(dòng)離子槍
注：關(guān)于配件和耗材的詳細(xì)情況，請(qǐng)咨詢我公司銷售。