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工業(yè)檢測(cè)顯微鏡BM-54XBD S

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

工業(yè)檢測(cè)顯微鏡BM-54XBDS一、用途BM-54XBDS數(shù)碼工業(yè)檢測(cè)顯微鏡配有大移動(dòng)范圍的載物臺(tái)、落射照明器、平場(chǎng)無(wú)限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距離明暗物鏡、大視野目鏡、圖像清晰、襯度好

詳細(xì)介紹

工業(yè)檢測(cè)顯微鏡BM-54XBD S

一、用途

BM-54XBD S 數(shù)碼工業(yè)檢測(cè)顯微鏡配有大移動(dòng)范圍的載物臺(tái)、落射照明器、平場(chǎng)無(wú)限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距離明暗物鏡、大視野目鏡、圖像清晰、襯度好。是針對(duì)半導(dǎo)體工業(yè)、硅片制造業(yè)、電子信息產(chǎn)業(yè)、冶金工業(yè)開(kāi)發(fā)的，作為**工業(yè)顯微鏡使用?？蛇M(jìn)行明暗場(chǎng)觀(guān)察、落射偏光、DIC觀(guān)察，廣泛用于工廠(chǎng)、研究機(jī)構(gòu)、高等院校對(duì)硅片、電路基板、FPD、精密模具的檢測(cè)分析。


二、特點(diǎn)

1、采用了UIS高分辨率、長(zhǎng)工作距離無(wú)限光路校正系統(tǒng)的物鏡成像技術(shù)

2、拓展了物鏡的復(fù)用技術(shù)，無(wú)限遠(yuǎn)物鏡與所有觀(guān)察法相兼容包括明暗視野法、偏光法，并在每一觀(guān)察法中均提供高清晰的圖像質(zhì)量

3、采用非球面Kohler照明，增加觀(guān)察亮度

4、WF10X(Φ25mm)超大視野目鏡，長(zhǎng)工作距離明暗場(chǎng)金相物鏡

5、可插DIC微分干涉裝置的轉(zhuǎn)換器

三、技術(shù)規(guī)格

1、目鏡：

類(lèi) 別放 大 倍 數(shù)目視場(chǎng)直徑（mm）
超寬視場(chǎng)
平場(chǎng)目鏡		10XΦ25
目鏡
(帶0.1mm十字分劃板）		10XΦ20

2、物鏡：

類(lèi) 別放大倍數(shù)數(shù)值孔徑N.A(mm)系 統(tǒng)工作距離（mm）
平場(chǎng)無(wú)限遠(yuǎn)
長(zhǎng)工作距離
明暗場(chǎng)物鏡		5X0.10干29.4
10X0.2516.0
20X0.4010.6
40X0.605.40

3、顯微鏡的總放大倍率：

物 鏡目 鏡鏡筒系數(shù)總放大倍數(shù)
5X10X1X50X
10X100X
20X200X
40X400X

4、觀(guān)察頭：30°鉸鏈?zhǔn)饺?/p>

5、轉(zhuǎn)換器：帶DIC 插孔明暗場(chǎng)五孔轉(zhuǎn)換器

6、瞳距：50-75 mm

7、雙層移動(dòng)平臺(tái)：平臺(tái)尺寸：350×310 mm；移動(dòng)范圍：250×250 mm

8、濾色片：插板式濾色片（綠、藍(lán)、中性）

9、調(diào)焦機(jī)構(gòu)：粗微動(dòng)同軸調(diào)焦,采用鹵輪鹵條傳動(dòng)機(jī)構(gòu)；微動(dòng)格值0.002mm

10、偏光裝置：檢偏鏡可360°轉(zhuǎn)動(dòng)，起偏鏡、檢偏鏡均可移出光路

11、檢測(cè)工具：0.01 mm測(cè)微尺

12、光源： 落射照明：帶孔徑光欄和視場(chǎng)光欄，鹵素?zé)?2V100W，AC85V-230V，亮度可調(diào)

13、數(shù)碼相機(jī)系統(tǒng)：數(shù)碼相機(jī)、90度數(shù)碼適配鏡、轉(zhuǎn)接器



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