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天津市遠(yuǎn)洋機(jī)電科技有限公司
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天津市遠(yuǎn)洋機(jī)電科技有限公司
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更新時(shí)間：2026-02-07 09:59:37瀏覽次數(shù)：76次
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12 系列是一種微型超高純度工業(yè)氣體 （IGS）/VCR® 減壓型調(diào)壓器。 12 系列提供 5 Ra 或 10 Ra 微英寸的光潔度，采用束縛閥膜以及內(nèi)部無彈簧和無螺紋的設(shè)計(jì)。
TESCOM™ 12 系列無彈簧無螺紋調(diào)壓器
12 系列是一種微型超高純度工業(yè)氣體 （IGS）/VCR® 減壓型調(diào)壓器。 12 系列提供 5 Ra 或 10 Ra 微英寸的光潔度，采用束縛閥膜以及內(nèi)部無彈簧和無螺紋的設(shè)計(jì)。 進(jìn)口壓力為 150 psig / 10.3 bar，出口壓力為 250 mm Hg-15、30、60、100 psig / 250 mm Hg-1.0、2.1、4.1、6.9 bar，流速可達(dá) 120 SLPM。 非常適合用于 OEM 工具、氣箱和低壓氣瓶柜。
規(guī)格
特點(diǎn)
適用于高級(jí) OEM 氣體系統(tǒng)的理想產(chǎn)品
高靈敏度壓力控制增強(qiáng)質(zhì)量流量控制器 （MFC） 性能
適用范圍廣，性能
流量：2 SCFM 至 120 SLPM
在微型元件中提供的壓降和重復(fù)性
閥膜與閥體之間采用金屬對(duì)金屬密封，提供的密封性
內(nèi)部表面光潔度為 10 Ra 或 5 Ra 微英寸
符合 SEMI F19 和 SEMI 模塊化接口規(guī)格
需要咨詢產(chǎn)品價(jià)格、貨期、購買產(chǎn)品、技術(shù)參數(shù)規(guī)格索取、技術(shù)及產(chǎn)品調(diào)試咨詢、商務(wù)合作請(qǐng)聯(lián)系我們。客服熱線：
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