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行業(yè)產(chǎn)品

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天津市遠(yuǎn)洋機(jī)電科技有限公司


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質(zhì)量流量模塊D700MG

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參  考  價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地天津市

包裝印刷網(wǎng)采購部電話：0571-88918531QQ:2568841715

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更新時間：2026-02-07 07:25:55瀏覽次數(shù)：53次

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經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：1170條

所在地區(qū)：

聯(lián)系人：李先生

產(chǎn)品簡介

關(guān)鍵的半導(dǎo)體制造工藝不斷需要精密的氣流控制設(shè)備，以實(shí)現(xiàn)未來的創(chuàng)新，以及前沿存儲器和邏輯設(shè)備從實(shí)驗(yàn)室到工廠的轉(zhuǎn)變。HORIBA 提出了新的基于壓力的 MFC D700MG，它是 D500MG 的上層兼容型號，以支持客戶的挑戰(zhàn)。

詳細(xì)介紹

高速精密壓力不敏感質(zhì)量流量模塊

 

        關(guān)鍵的半導(dǎo)體制造工藝不斷需要精密的氣流控制設(shè)備，以實(shí)現(xiàn)未來的創(chuàng)新，以及前沿存儲器和邏輯設(shè)備從實(shí)驗(yàn)室到工廠的轉(zhuǎn)變。HORIBA 提出了新的基于壓力的 MFC D700MG，它是 D500MG 的上層兼容型號，以支持客戶的挑戰(zhàn)。

 

特征

  • 工具上氣體和滿量程配置更改 *僅 EtherCAT 

    為流程優(yōu)化提供靈活性  

  • 100ms 升壓響應(yīng)和 MFC 到 MFC 偏差控制 

    提供高生產(chǎn)率和更好的過程性能 

  • 小流量的 MRMG 功能 (Bin101 – Bin105) 

    為需要小流量的過程提供靈活性 

  • PFA 噴嘴更好的閥門關(guān)閉和耐腐蝕性 

    具有較低顆粒風(fēng)險的穩(wěn)健性可減少停機(jī)時間并優(yōu)化產(chǎn)量  

  • 狀態(tài)監(jiān)控功能 

    為更智能的故障預(yù)測提供更多內(nèi)部數(shù)據(jù)  

 

狀態(tài)監(jiān)視功能的輸出項(xiàng)目

流量/壓力調(diào)零計(jì)數(shù) 

閥門驅(qū)動計(jì)數(shù) 

/最小P0,P1,P2壓力記錄 

/最小塊溫度記錄 

超過/低于壓力規(guī)格的總時間。 

超過/低于溫度規(guī)格的總時間。 

總工作時間 

總控制時間 

總流動時間（每個校準(zhǔn)實(shí)例） 

總流量（每個校準(zhǔn)實(shí)例） 


需要咨詢產(chǎn)品價格、貨期、購買產(chǎn)品、技術(shù)參數(shù)規(guī)格索取、技術(shù)及產(chǎn)品調(diào)試咨詢、商務(wù)合作請聯(lián)系我們?？头峋€：


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