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密封熱式質(zhì)量流量控制器5850EM系列

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更新時間：2026-02-05 12:03:20瀏覽次數(shù)：132次

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產(chǎn)品簡介

5850EM 系列金屬密封熱質(zhì)量流量控制器的性能基于廣泛使用的 5850E 和 i 系列 MFC，可在高潔凈環(huán)境下測量和控制高壓氣體流量并具有經(jīng)驗證的穩(wěn)定性。

詳細介紹

金屬密封熱式質(zhì)量流量控制器5850EM 系列

純度氣路。超高精確，無污染的控制。

現(xiàn)今許多高級電子元器件的加工工藝都需要能夠?qū)Π嘿F的超純氣體和液態(tài)前體進行相當準確并且具有高度可重現(xiàn)性的測定和控制。因此，布魯克斯儀器推出了自家的革命性金屬密封熱質(zhì)量流量控制器和儀表來滿足上述需求。該產(chǎn)品將穩(wěn)定性和準確性超高的測量傳感器與快速、精準的控制閥以及功能*的電子元件相結(jié)合共同實現(xiàn)了精準的化學品控制。高完整性（無泄漏）的超高純度全金屬流路可確保過程化學品純度，該流路專為防止外部污染（如濕氣和氧氣）腐蝕過程媒介而設計。

關鍵應用

硅材料半導體器件制造工藝 – 蝕刻、剝膜、CVD、ALD、PVD、Epi、擴散、植入和 RTP
化合物半導體器件加工工藝 – MOCVD
精密的表面涂層
分析系統(tǒng)
真空處理應用

選擇自身工藝需求的質(zhì)量流量設備。

經(jīng)驗證長期穩(wěn)定，超純潔凈體系，適用于高壓應用

型號 5850EM / 5851EM

5850EM 系列金屬密封熱質(zhì)量流量控制器的性能基于廣泛使用的 5850E 和 i 系列 MFC，可在高潔凈環(huán)境下測量和控制高壓氣體流量并具有經(jīng)驗證的穩(wěn)定性。該產(chǎn)品的金屬密封結(jié)構(gòu)和電鍍拋光接液表面可確保出色的流量完整性并有助于整體提升過程效率，這得益于設備無需對氣體壓力進行連續(xù)監(jiān)測和重新調(diào)節(jié)即可保證流量穩(wěn)定。

特點